Приложение № 51 к протоколу МГС № 37-2010 Программа «Создание эталонов единицы длины нового поколения в диапазоне 10-9 ÷ 10-4 м на 2010 – 2012 годы» МЕРОПРИЯТИЯ ПРОГРАММЫ Наименование задания 1 Создание эталонной базы в области измерений параметров рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне Создание метрологического комплекса на основе растровой и просвечивающей электронной микроскопии, сканирующей зондовой микроскопии, рентгеновской дифрактометрии и лазерной интерферометрии, обеспечивающего воспроизведение, хранение и передачу размера единицы длины в диапазоне 0,1 нм – 10 мм, в поддиапазоне 0,1 нм – 103 нм неопределенность (0,01 – 0,1) нм, в поддиапазоне (103 - 105 ) нм неопределенность (0,1 – 1) нм, в поддиапазоне (0,1 – 10) мм неопределенность (1 – 3) нм Создание эталонных мер топологии наноструктур – средств передачи размера единицы длины в нанометровый диапазон Государство – исполнитель, организации 2 Сроки выполнения Ожидаемые результаты и их значение 3 4 Российская Фе- 2010-2012 годы дерация, Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, ФГУП «ВНИМС» г. Москва Российская Фе- 2010-2011 г.г. дерация, Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, ОАО «НИЦПВ» г. Москва Обеспечение единства измерений параметров рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом и прилегающих к нему диапазонах в нанотехнологиях и наноиндустрии. Российская Фе- 2010-2012 г.г. дерация, Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, ОАО «НИЦПВ» г. Москва Передача единицы длины от эталона метра рабочим средствам линейных измерений в нанотехнологиях и наноиндустрии - растровым электронным микроскопам (РЭМ) и сканирующим зондовым микроскопам (СЗМ). Обеспечение единства линейных измерений в нанометровом и прилегающих к нему диапазонах в нанотехнологиях и наноиндустрии.