Лекция №16 РАСЧЕТ ТЕПЛОВЫХ СОПРОТИВЛЕНИЙ ИМС Расчет внутреннего теплового сопротивления (RПК) Тепловую модель микросхемы, закрепленной основанием корпуса на теплоотводе, можно представить в виде двух многослойных параллелепипедов, которыми имитируются основание корпуса и кристалл с плоскими локальными источниками тепла на поверхности кристалла. С погрешностью не более 5 % можно принять, что все тепло отводится через нижнюю поверхность основания, а коэффициенты теплопроводности материалов не зависят от температуры. Считаем, что поверхность источников тепла и основания корпуса изотермичны, тепловой поток растекается от источников тепла под углом 45° или 0° в случаях его ограничения боковой поверхностью кристалла или тепловым потоком соседнего источника тепла, рис. 16.1. Для модели с одним источником тепла тепловое сопротивление находится путем интегрирования выражения RT ( L'Z L"Z ) 0 L'Z dZ S( Z ) " 1 dZ 1 LZ dZ 1 0 ( a 2Z ) ( b 2Z ) 2 L' (a 2Z ) (b 2Z ) Z a и b - размеры источника тепла; - коэффициент теплопроводности. Тепловое сопротивление многослойных структур равно сумме сопротивлений каждого слоя. Для расчета сопротивления усеченных пирамид с разным числом вертикальных граней есть таблица формул. Для однородных структур с одним источником тепла погрешность расчетов по формулам не хуже 10 %, а для многослойных - 25 %. Погрешность увеличивается тем сильнее, чем больше отличаются слои по толщине и коэффициенту теплопроводности. Поверхности источников тепла и основания корпуса ( теплоотвода ) принимаются изотермическими, что соответствует минимально возможному для данной геометрии структуры тепловому сопротивлению. Нарушения изотермичности при ухудшении теплоотвода приводит к увеличению эффективной длины пути теплового потока и, соответственно, к увеличению теплового сопротивления. Таким образом, внешнее и внутренние тепловые сопротивления связаны и увеличиваются одновременно. Конструктивным параметром ИМС является именно минимальное тепловое сопротивление. Рассмотрим несколько примеров В микросхеме памяти массив ячеек занимает площадь ab. Ячейки маломощные и упакованы плотно. Считаем массив ячеек источником тепла и определим тепловое сопротивление. Толщина кристалла -L’Z, толщина основания корпуса - L’’Z . Размер кристалла LXLY больше чем ( a + 2LZ1 ) ( b + 2LZ1 ), т.е. нет бокового ограничения памяти больше толщины кристалла и основания корпуса a,b > L’Z,L’’Z. Коэффициенты теплопроводности полупроводника - П и корпуса - К. Кристалл приклеен к основанию теплопроводящим клеем, имеющим коэффициент теплопередачи - . LZ - толщина слоя клея. Формула в таблице для такого случая: RT LZ ab Тепловое сопротивление многослойной структуры складывается из сопротивлений RT всех слоев: LZ L''Z 1 Ï a b (a 2L''Z ) (b 2L''Z ) K (a 2L'Z ) (b 2L'Z ) Если L’Z = 0,06 см; L’’Z = 0,1 см; П = 1,2 Вт/cмК; К = 0,17 Вт/cмК; а = 0,3 см; b = 0,3 см; = = 0,8 Вт/cм2К, то расчетное значение RT = 0,55 + 7,1 + 3,33 = 10,98 К/Вт. Базовый матричный кристалл содержит 100 ячеек в матрице 1010. Размер ячейки ab, шаг размещения ячеек 2a2b, следовательно, размеры массива элементов 20a20b. Площадь источников тепла составляет 25 % от площади массива ячеек. Толщина кристалла L’Z >> a,b. Тепловые потоки отдельных элементов ограничены с боков соседними тепловыми потоками. Формула для этого случая L’x L’Z L’’Z a b L’y L’’y L ’ x L’’x б) Два источника тепла. а) Один источник тепла. Рис. 16.1. RT L'Z 1 ln a b ( a b ). Тепловые сопротивления отдельных ячеек соединены параллельно RT L'Z 1 ln 10 0 a b На уровне клеевого соединения и основания корпуса тепловые потоки отдельных элементов объединяются в один однородный поток тепла. Формулы для расчета такие же как в примере а. a = b = 0,015 см; RT 20a = 20b = 0,3 см. L'Z L''Z 1 1 ln 10 0 1 a a 4 ( 10a L'Z ) 2 4 2 ( 10a L'Z ) 2 RT = 0,78 + 7,1 + 3,33 = 11,21 K/Вт. Как видно из расчетов, локализация источников тепла на кристалле незначительно увеличивают тепловое сопротивление. в большинстве случаев для оценочных расчетов источник тепла можно считать однородным в пределах массива элементов. Расчет полного теплового сопротивления В реальных условиях применения ИМС редко удается обеспечить отвод тепла с использованием охлаждаемого теплоотвода. Наиболее часто применяется для охлаждения естественная конвекция в воздухе или обдув ИМС потоком воздуха со скоростью около 2 м/c. При плохом охлаждении поток тепла направлен не только к основанию корпуса, но и к его периферийным областям. Внешнее тепловое сопротивление рассчитывается через коэффициент теплопередачи - , определяемый условиями охлаждения корпуса. В моделях полного теплового сопротивления поток тепла разделяется на две части. Первый поток течет к основанию корпуса через внутреннее сопротивление RПК1 и отводится в охлаждающую среду через внешнее тепловое сопротивление RКС1. RÊÑ 1 1 SRP Второй поток растекается по корпусу горизонтально и моделируется тепловым сопротивлением RПС2. . RКС1 RПК1 П С RПС2 Рис.16.2. Схема тепловых потоков Величина RПС2 определяется достаточно сложной аппроксимирующей формулой RÏÑ 2 SKP 0,64 0,5 lg 2 S ÊÎ Ð Ï SKP L''Z 1 SÊÎ ÐÏ где 0,8 (SÊÎ ÐÏ SÊÐ ) L''Z 2 0,25 , , SКОРП , SКР - площади корпуса и кристалла соответственно. Пример Микросхема в корпусе площадью 2 см2 имеет площадь кристалла 0,50,5 = 0,25 см2 и внутренне тепловое сопротивление RПК1 = 11 K/Bт. ИМС охлаждается потоком воздуха со скоростью не менее 2 м/с, что обеспечивает коэффициент теплопередачи = 0,01 Вт/см2 К. Определим полное тепловое сопротивление RKC 1 1 1 40 0 K Â ò SKP 0,0 1 0,25 Коэффициент 0,8 0,0 1 ( 2 0,25) 0,8 0, 17 0, 1 RПC = 33 К/Вт RÏÑ 2 RÏÊ 1 RÊÑ 1 равно Полное тепловое сопротивление RÏÑ RÏÑ 2 RÏÊ 1 RÊÑ 1 30,5 К/Вт. Для кристаллов малых размеров SКР. << SКОРП. и при удовлетворительном охлаждении > 0,01 справедлива аппроксимирующая формула RÏÑ 2 1 L'Z' , а так как для малых кристаллов RПС2 << RПС1, то и полное тепловое сопротивление определяется этой же формулой. Если условия охлаждения плохие < 0,001 ( естественная конвекция ), а размеры кристалла приближаются к размеру корпуса, то полное тепловое сопротивление оценивается формулой RT 1 SÊÎ ÐÏ При малых размерах кристалла ( SКР << SКОРП ) формула для оценки RT 2 SÊÎ ÐÏ Контроль электрических параметров ИМС в диапазоне температур В процессе контроля электрических параметров ИМС требуется не только измерять, но и задавать температурные режимы их работы. Широко применяются три способа задания температурных режимов: А) Проходная камера Этот способ задания температуры применяется в тех случаях, когда в процессе измерения температура ИМС изменяется незначительно ( малая мощность, небольшое время измерений ). Перед измерением электрических параметров микросхемы большой партией выдерживаются в термостатированной камере без подачи электрических режимов. Затем они по одной автоматически извлекаются из камеры и устанавливаются в контактирующее устройство измерительного стенда. Процесс перемещения и измерения каждого изделия не должен занимать более нескольких секунд. Б) Микрокамера Способ задания температуры при длительных электрических измерениях и для мощных микросхем. Микросхема в камере устанавливается на теплоотвод или обдувается потоком воздуха, затем подключается к измерительному стенду и выдерживается некоторое время в электрическом режиме для установления равновесных тепловых полей. После выдержки проводятся электрические измерения. Для каждого типа ИМС необходимо заранее определить разность температур между основанием корпуса и атмосферой в камере, если требуется задавать температуру корпуса. В) Термошкаф В термошкафу проводятся измерения микросхем при определении характеристик надежности. Микросхемы в контактирующих устройствах размещаются на достаточно больших платах. В шкафу помещается несколько плат. Платы и микросхемы интенсивно обдуваются внутренним вентилятором. Температура воздуха в шкафу задается, а приращение температуры на основании корпуса определяется заранее. Выводы микросхем подключены к разъемам внешней контрольной панели. На все микросхемы подается напряжение питания. Измерения ИМС проводятся при подключении стенда к соответствующему разъему на контрольной панели. Тепловая связь в микросхемах В реальных условиях эксплуатации очень трудно обеспечить одинаковые температурные режимы микросхем на плате или транзисторов в одной микросхеме. Зависимость электрических параметров элементов ИМС от температуры саморазогрева приводит к появлению тепловой связи между ИМС или элементами ИМС на кристалле. Схемы типа КМОП и ТТЛ имеют большой логический перепад и (достаточные) запасы статической помехоустойчивости. В схемах ЭСЛ типа изменение выходных логических уровней с температурой может привести к нарушению функционирования при передаче сигналов между горячими и холодными ИМС. Зависимость логических уровней от температуры для ИМС серий 100, 500 показана на рис. 16.3. Зависимость выходного напряжения высокого уровня от температуры соответствует изменению напряжения VЭБ VВЫХ,В -0,5 VOH -1,0 VОП -1,5 VOL Т,К 200 Рис. 16.2. 300 400 Изменение выходных напряжений ЭСЛ микросхем серий 100 и 500 от температуры. выходного транзистора - 1,52 мВ/К. Чтобы упростить проблемы термостабилизации ЭСЛ ИМС разработаны новые серии ( 1500, 1501 ), имеющие термокомпенсацию логических уровней. В цифровых ЭСЛ, а также в большинстве аналоговых микросхем используются генераторы тока типа “токовое зеркало”, имеющие достаточно сильную температурную зависимость. Источники опорных напряжений для этих генераторов стараются расположить в более холодных частях кристалла, например в углах. При этом, токи генераторов в горячих частях кристалла увеличиваются, что важно для обеспечения помехоустойчивости элементов ИМС. В мощных биполярных транзисторах распределение тепловой мощности К Б Э рис. 16.4. по кристаллу реализуется путем параллельного подключения множества маломощных транзисторов. И тем не менее в мощных приборах не избежать градиентов температуры. Для выравнивания токов горячих и холодных структур в их эмиттерные цепи включают токостабилизирующие резисторы, рис 16.4. Наличие градиентов температуры в кристалле сильно отражается на характеристиках аналоговых микросхем, в большинстве своем построенных на дифференциальных усилителях. Разность температуры в один градус приводит к смещению передаточной характеристики дифференциального усилителя на 1,5 мВ. Токи полевых транзисторов с ростом температуры обычно уменьшаются, а саморазогрев транзистора приводит к появлению гистерезиса ВАХ, рис. 16.5. В аналоговых микросхемах это проявляется в зависимости коэффициента усиления от скорости изменения сигнала. Усиление падает с ростом частоты быстрее, чем в расчетах. Следует особо отметить локальный разогрев полупроводниковых приборов на арсениде галия, теплопроводность которого примерно втрое меньше, чем у кремния, а подвижность электронов в пять раз больше. С подвижностью электронов связана плотность тока и соответствующая плотность выIСТОКА рис. 16.5. VСТОКА деляемой мощности. При одинаковых напряжениях на транзисторе их локальный разогрев может быть в 15 раз больше, чем в кремнии. Поэтому, выгорание транзисторов на арсениде галия явление вполне заурядное и надо быть осторожным при работе с ними.