Файл в формате PPT (1,9 МB)

реклама
Лекционный курс
«Физические основы
измерений и эталоны»
Раздел
ИЗМЕРЕНИЯ В НАНОТЕХНОЛОГИЯХ
Тема
ЗОНДОВЫЕ МИКРОСКОПЫ.
СКАНИРУЮЩИЙ ТУННЕЛЬНЫЙ
МИКРОСКОП.
Сканирующий туннельный
микроскоп
• Г. Бинниг и Х. Рорер, (IBM Цюрих)
в 1986 г. получили Нобелевскую
премию по физике
«за разработку сканирующего
туннельного микроскопа"
Binnig
Rohrer
СКАНИРУЮЩИЙ
ТУННЕЛЬНЫЙ
МИКРОСКОП
Сканирующий туннельный микроскоп
STM-TOKAMAK-2
РНЦ «Курчатовский институт»
ТУННЕЛЬНЫЙ ЭФФЕКТ
Падение пучка электронов
на прямоугольный потенциальный
барьер высотой U0,
при котором
полная энергия частиц E<U0
Стационарные уравнения
Шредингера:
- волновые вектора
ТУННЕЛЬНЫЙ ЭФФЕКТ
Решение волнового уравнения слева от барьера
- сумма падающей и отраженной волн:
Решение в области барьера:
Решение справа от барьера – прошедшая волна
Квадрат модуля – коэффициент прозрачности барьера:
ТУННЕЛЬНЫЙ ЭФФЕКТ
ЗОНД
Для электронов на уровне
Ферми вероятность
прохождения через
потенциальный барьер
(величина туннельного тока ) :
I  exp 2Kd 
2m
K

( ОБРАТНЫЙ )
ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ЭФФЕКТ
Возникновение механических деформаций
( в полярных диэлектриках )
под действием электрического поля
В природных пьезоэлектриках (кварц, турмалин)
величина пьезоэффекта мала
ИСКУССТВЕННОЕ ПОЛУЧЕНИЕ
СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЬЕЗОКЕРАМИК
Например, на основе титаната бария BaTiO3
В сегнетоэлектриках –
+
области спонтанной поляризации
(домены Вейса)
До обработки домены
ориентированы хаотически
При высокой температуре
в электрическом поле
Остаточная поляризация пьезокерамики
ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ
ПРИВОД ЗОНДА
Пластина из пьезокерамики
во внешнем электрическом поле
Трубчатый пьезоэлемент
Сканирующий элемент в виде трипода,
собранный на трубчатых пьезоэлементах
Перемещение зонда с помощью
пьезопривода
ЗОНД
Растровое сканирование
с точностью смещения ± 0.05 Å
Два режима сканирования
1. Режим постоянного тока
Два режима сканирования
2. Режим постоянной высоты
Пьезокристаллы
Блок-схема сканирующего
туннельного микроскопа
Напряжение на пьезокристаллах
Усиление
туннельного
тока
Управление
сканированием
ЗОНД
Образец
Потенциал
зонда
Построение
изображения
d6Å
ОДИН рабочий атом на острии зонда !!
Туннельный ток I t  Ve
 2 Kd
It уменьшается в 10 раз при увеличении d на 1 Å.
Изображение
держателя и зонда
Изображение зонда
из SiO2
Расположение атомов на поверхности
монокристалла кремния
Отсутствует атом йода
Атомы йода на поверхности платины в
сканирующем туннельном микроскопе
Полированная
поверхность
медной детали
в
сканирующем
туннельном
микроскопе
Изображение углеродной
нанотрубки в СТМ
Диаметр нанотрубки – 1,2 нм
Двумерная квантовая яма
(электронные потенциальные поверхности)
Атомы Fe на кристалле Cu(111) при 4К формируют
«квантовый коралловый риф” диаметром 14,3 нм.
На изображении отражены изменения плотности
электронных состояний.
Микромеханическая
сборка в СТМ
(молекулы СО
на платине)
Микро-механическая сборка в
СТМ
(атомы ксенона на никеле)
КОНЕЦ
ЛЕКЦИИ
Скачать