Физика, технология и элементная база современной электроники Плюснин Николай Иннокентьевич, д.ф.-м.н., проф. кафедр: ИСКТ ВГУЭС, и КПРЭА ДВГТУ, зав. лаб. ИАПУ ДВО РАН 1 О курсе Стратегическая цель - дать знания, которые актуальны для современного этапа электроники. Идея лекционного курса – дать физикотехнологические основы и дополнить традиционный курс электроники современными знаниями о новейших научных достижениях в области разработки и создания элементной базы электронных устройств. 2 Цель курса Цель курса - знакомство с передовыми направлениями развития элементной базы на современном этапе для обеспечения базовой инженерной подготовки к моменту внедрения и использования существующих на настоящий день научных разработок. 3 Введение В начале XXI в. произошло резкое сокращение срока реализации научных открытий: средний период освоения нововведений с 1885 по 1919 г. составил 37 лет, с 1920 по 1944 г. — 24 года, с 1945 по 1964 г. — 14 лет, а в 90-е гг. ХХ в. для наиболее перспективных открытий (электроника, атомная энергетика, лазеры) — 3—4 года. Возникла конкуренция научного знания и технического совершенствования производства. Стало экономически более выгодно развивать производство на базе новых научных идей, нежели на базе самой современной техники. Изменилось взаимодействие науки с производством: раньше техника и производство развивались путем накопления опыта, теперь они стали развиваться на основе науки и стали наукоемкими. Теперь процесс производства конечного продукта включает в себя многочисленные вспомогательные производства, использующие новейшие технологии. Фундаментом для развития наукоемких технологий является образование. Поэтому для поддержания конкурентоспособности производства будущему специалисту необходимо иметь опережающие знания в связи с быстро изменяющимися потребностями рынка труда. Отсюда и возникла концепция данного курса – наряду с физико-технологическими основами микроэлектроники дать преимущественно знания о современной элементной базе, которая в настоящее время находится на стадии научных разработок. 4 Развитие элементной базы начиная с 50ых: исторический экскурс Рис. 1 Типичные конструкции электронных приборов и их эволюция по мере развития электроники 5 Развитие элементной базы начиная с 50-ых: исторический экскурс Простейшим из приборов является механический ключ. Первым электронным ключом был вакуумный диод, запатентованный в 1904 году англичанином Д.А. Флемингом. Затем был вакуумный триод (1906 год, Л. Де Форест и Р. Либен) и полупроводниковый транзистор (1947 год, У. Браттейн, Дж. Бардин, У. Шокли), а затем интегральные микросхемы на кремнии (1958-1959 годы), положившие начало микроэлектронике. Главной тенденцией этого развития является уменьшение размеров приборных структур. В современных интегральных микросхемах они составляют единицы и десятые доли микрона (1 мкм = 10-6 м). 6 Прогнозы развития элементной базы Развитие компьютерной техники происходит в геометрической прогрессии. Каждые полтора года производительность компьютеров увеличивается в 2 раза. Предсказывают, что известный эмпирический закон Мура - удвоение элементов на кристалле каждые 18 месяцев, будет действовать и до конца десятилетия. Поэтому только наноэлектроника может обеспечить развитие элементной базы на ближайшие 5-10 лет. А затем необходим переход к атомным размерам - к атомно-молекулярной электронике. 7 Нынешняя ситуация Инженеры корпорации Intel сумели изготовить в лабораторных условиях транзисторы, обладающие рекордно малыми размерами (70х80х3 атома) и рекордно высокой скоростью переключения - 1,5 трлн. в секунду. Коммерческий выпуск процессоров на базе новых транзисторов в Intel планируют начать к 2007 году. В каждый такой процессор можно будет поместить до 1 млрд. транзисторов, а его предельная тактовая частота составит 20 ГГц. Процессоры будут изготавливаться по 0,045микронной технологии; напряжение их питания составит менее 1 В. 8 Проблемы и поиск путей их решения. Однако прежде чем начать массовое производство, необходимо разработать литографию в глубокой ультрафиолетовой области. Кроме того, необходимо решить проблемы утечки электронов на межсоединениях и чрезмерного теплоотделения. Поэтому проводится поиск новых принципов построения элементной базы на основе достижений нанотехнологии, которая сейчас бурно развивается. 9 Направления построения новой элементной базы Усовершенствование традиционной элементной базы. Микросенсорика: микромеханические электронные устройства. Опто- и спин-электроника на наногетеростуктурах. Электроника на квантовых точках и проволоках. Электроника на нанотрубках. Электроника, использующая атомное манипулирование. Элементная база квантовых компьютеров. 10 Содержание курса В основу настоящего курса положены современные достижения на перечисленных выше направлениях построения элементной базы. 11 12 13 14 15 16 17