УРАЛЬСКИЙ «СОВРЕМЕННЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ» Уральский федеральный университет ЦЕНТР КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ

УРАЛЬСКИЙ
ЦЕНТР КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ
«СОВРЕМЕННЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ»
Уральский федеральный университет
В.Я. Шур
Директор УЦКП СН УрФУ,
vladimir.shur@usu.ru
Размер изображения 10×10 мкм
Центр коллективного пользования
В рамках инновационной образовательной
программы 12 декабря 2007 открыт
Уральский Центр Коллективного Пользования
"Современные Нанотехнологии" УрГУ,
расположен
на физическом и химическом факультетах
состоит
из 16 подразделений
создан на базе
 существующего в УрГУ с 2002 года
ЦКП "Сканирующая зондовая микроскопия"
 оборудования, приобретенного
в 2007 - 2012 годах
 общей стоимостью более 450 млн. руб.
2
УЦКП ”Современные нанотехнологии” 3
12 декабря 2007 года
Торжественное открытие
4
Персонал УЦКП СН
Численность сотрудников
за 2011 год
из них
в том числе
из них
108
докторов наук
кандидатов наук
19
47
совместителей
докторов наук
кандидатов наук
54
17
27
Предоставляемые услуги
5
 Оптическая и сканирующая лазерная конфокальная микроскопия.
 Газовая и жидкостная хроматография, масс-спектрометрия и
термогравиметрия.
 Измерения электрических и магнитных свойств материалов.
 Спектроскопия электронного парамагнитного резонанса.
 Механические испытания, термомеханический анализ,
дилатометрия.
 Качественный и количественный элементный анализ.
 Механическая и оптическая профилометрия.
 Анализ дисперсий наночастиц в растворах.
 Сканирующая зондовая микроскопия.
 Оптоэлектроника и нанофотоника.
 Рентгеновская дифрактометрия.
 Реологические исследования.
 Адсорбционная порометрия.
 Механическая обработка.
 Фотолитография.
Оборудование УЦКП СН
 Наименований оборудования
 Единиц оборудования
 Стоимость оборудования
82
87
460 млн. руб
Методики
 Общее количество
из них
 аттестовано
 проходят аттестацию
80
33
20
Организации-пользователи в 2012 г.
 Общее количество
из них
 Центральный федеральный округ
 Уральский федеральный округ
30
2
28
6
Аналитическое оборудование
Зондовая нанолаборатория
NTEGRA Therma
NT- MDT, Зеленоград
Углеродные нанотрубки
на поверхности кремния, размер
изображения
1.5 мкм x 1.5 мкм
7
Дополнительные
возможности
 Работа в широком интервале
температур от -30 до 300 oC
 Атомно-силовая акустическая
микроскопия
 Приложение к зонду
напряжений
от - 50 В
до + 50 В
Аналитическое оборудование
Зондовая нанолаборатория
NTEGRA Spectra
Дополнительные
возможности
 Работа на базе оптического
NT- MDT, Зеленоград
микроскопа Olympus
 Сканирующая лазерная
Нанопроволока GaN
конфокальная микроскопия
(a) люминесцентная
 Комбинационное рассеяние
конфокальная микроскопия
(b) атомно-силовая микроскопия  Сканирующая ближнепольная
оптическая микроскопия
(c) эксперимент с облучением
 Лазерная
литография
8
Технологическое оборудование
«Без чистых комнат нет нанотехнологий»
Чистое помещение для фотолитографии
 Чистое помещение класса ISO 5 (100)
 Однонаправленный поток воздуха
 Установка совмещения и экспозиции
Фотолитография
 Установка совмещения и экспозиции
Suss MicroTec MJB4, Германия
 Пластины диаметром до 100 мм
 Экспозиция l = 350-450 нм
 Микроскоп двойного поля
с системой видео визуализации
 Мягкий, жесткий, вакуумный контакт
 Литография с зазором
 Разрешение до 0.6 мкм
9
Технологическое оборудование
Чистое производственное помещение
10
Оптическое оборудование
для развития лазерных нанотехнологий
Лазерная система
VL-300/40
Лазерная система
Fmark-20 RL
СО2 импульсный лазер
40 Вт
l = 10.6 мкм
Yb-волоконный лазер
20 Вт
l = 1.06 мкм
11
Новое оборудование
12
Рабочая станция
Auriga™ CrossBeam
Carl Zeiss, Germany
Методики измерения:
 Сканирующая электронная
микроскопия
 пространственное разрешение
2,5 нм и выше
 Фокусированный ионный
пучок
 Превосходный химический
контраст
Высокопроизводительный
 Ионная оптика
микроскоп с уникальными
характеристиками и
 Оригинальная система
встроенными аналитическими
компенсации
возможностями
поверхностного заряда
Контакты с промышленностью
 Проведение комплексных исследований
с использованием уникального
аналитического оборудования УЦКП CН
 Оказание услуг с использованием
технологического оборудования УЦКП CН
 Консультации предприятий
 по использованию оборудования
 по приобретению оборудования
 Повышение квалификации и переподготовка
специалистов предприятий
 по нанотехнологиям
13
Контакты с промышленностью
1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
8.
9.
10.
11.
12.
13.
14.
15.
16.
17.
ОАО «НПК «Уралвагонзавод», Нижний Тагил
ЗАО «Уралпластик-Н», Екатеринбург
ФГУП «НПО Автоматики», Екатеринбург
ООО «СИАМС», Екатеринбург
ЗАО НПЦ «РОСНА», Екатеринбург
ОАО «Русский магний», Асбест
ООО «Уральская инновационная компания», Екатеринбург
Корпорация ВСМПО-АВИСМА, Верхняя Салда
ЗАО «Региональный Центр Листообработки», Екатеринбург
Пермская научно-производственная приборостроительная
компания, Пермь
ОАО «Уральский электрохимический комбинат», Новоуральск
«Драгоценные металлы Урала», Екатеринбург
ОАО «Урал НИТИ», Екатеринбург
ОАО НПП «Старт», Екатеринбург
ОАО «Уральский завод резиновых технических изделий»,
Екатеринбург
НПП «Лазерные технологии», Екатеринбург
Уральский электромеханический завод, Екатеринбург
14
Контакты с промышленностью
15
Пилотный проект
ОАО НПК «Уралвагонзавод», Нижний Тагил
1. Подписан рамочный договор о сотрудничестве
между Предприятием и УрГУ, предусматривающий:
 финансирование НИР и НИОКР, выполняемых УрГУ
в интересах Предприятия,
 повышение квалификации в области нанотехнологий
специалистов Предприятия.
2. Проводятся исследования в рамках НИР
«Исследование различных видов обработки
конструкционных сталей для машиностроения
методами сканирующей зондовой микроскопии»
3. Согласуются конкретные формы повышения квалификации
сотрудников Предприятия
 краткосрочное обучение руководящего состава
 обучение по 24 и 72 - часовым программам
 дистанционное обучение с использованием «телемостов»
УЦКП СН УрГУ
март 2010
Совет главных конструкторов промышленных
предприятий Свердловской области
16
Подготовка кадров
17
В УрГУ пять лет проводится набор
на бюджетные места по направлению
бакалавриата «Нанотехнологии»
в 2007 и 2008 годах
конкурсы 11 человек на место
в июне 2010 года
первая защита дипломных работ
по нанотехнологии
с 2010 года
магистратура по нанотехнологиям
Запросы от предприятий и институтов УрО РАН
переподготовка специалистов,
повышение квалификации
Переподготовка кадров
 Создан центр повышения квалификации и
переподготовки специалистов предприятий
 по нанотехнологиям
 Разработаны различные варианты учебных
программ от 8 до 500 часов
 Просвещение населения и популяризация
нанотехнологий
 Лекции в школах
 Экскурсии в УЦКП СН
 Использование возможностей телемостов
 Информация о деятельности УЦКП СН в СМИ
 Создание учебных и научно-популярных фильмов
 Участие в выставках
18
Повышение квалификации
Модульные курсы
По окончании курсов
8ч
24 ч
72 ч
100 ч
500 ч
 8 и 24 часа
свидетельство
установленного
образца
72 и 100 часов
удостоверение
государственного
образца
500 часов
диплом
о профессиональной
переподготовке
19
20
Работы с участием УЦКП СН
в 2009–12 гг.
2009 год
2010 год 2011 год
2012 год
Источники
финансирования Кол- Объем Кол- Объем Кол- Объем Кол- Объем
во
млн.
руб.
во
млн.
руб.
во
во
млн.
руб.
Хоз. договоры 24
8,7
22
9,4
26 10,7 32
6,5
8,2
16
5,5
37 10,2 33
13,2
39,7 41 64,3 29 71,4 49
88,3
РФФИ
17
Рособрнаука 40
ИТОГО
81
млн.
руб.
56,6 79 79,2 92 92,3 114 108
Испытательный Центр (ИЦ)
 19 ноября 2009 года УЦКП СН УрГУ в составе
Испытательного Центра веществ, материалов и
продукции наноиндустрии ФГУП «Уральский
научно-исследовательский институт метрологии»
аккредитован
Федеральным
агентством по
техническому
регулированию
и метрологии
на техническую
компетентность
и независимость
 Аттестат
аккредитации
испытательной
лаборатории
(центра)
РОСС RU.0001.22НН02
21
Испытательный Центр (ИЦ)
22
 ИЦ руководствуется в своей деятельности
 Федеральным законом «О техническом регулировании»
 Федеральным законом «Об обеспечении единства измерений»
 ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025-2006, ГОСТ Р ИСО/МЭК 17011
 Основные функции ИЦ
 проводит испытания нанопродукции, включенной в область
аккредитации
 выдает протоколы испытаний в форме, соответствующей
требованиям ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025-2006
 обеспечивает достоверность, объективность и требуемую
точность результатов испытаний
 принимает на испытания образцы (пробы) с сопроводительной
документацией
 организует работу по поддержанию технического состояния
используемых средств измерений и испытательного оборудования
 участвует в проведении межлабораторных (сравнительных)
испытаний
 ведет учет предъявляемых претензий по результатам испытаний
 соблюдает установленные сроки проведения испытаний
Метрологическое обеспечение
 Работы по метрологическому обеспечению
измерительного парка УЦКП СН в 2010 году
 Аттестация методик выполнения измерений
29
 Разработка методик калибровки
16
 Калибровка средств измерения
16
 Поверка средств измерения
13
 Достижение высокого уровня достоверности измерений
в УЦКП СН и повышение качества научных результатов НИР
по проектам, грантам и договорам, в том числе в рамках
деятельности естественнонаучных НОЦ университета
 Расширение спектра сертифицированных измерений
по договорам со сторонними организациями по получению
сертификатов соответствия своей продукции и услуг
23
24
СПАСИБО
ЗА ВНИМАНИЕ
Размер изображения
10×10 мкм