Лекция № 4. ЭЛЕКТРОННАЯ ОПТИКА. Аналогия световой и электронной оптики. Электронная оптика параксиальных пучков. Движение заряженных частиц в аксиальносимметричном электрическом поле. • Физическим обоснованием возможности построения аналогии прохождения электронного луча в электрическом поле с постепенно изменяющимся потенциалом и прохождения светового луча через среду с изменяющимся коэффициентом преломления (оптикомеханическая аналогия) является общее сходство между обычной механикой и геометрической оптикой. И для движения материальной точки и для светового луча известен t 1 вариационный принцип Гамильтона: Ldt t0 0 Преломление света на границе двух сред и пучка заряженных частиц на границе потенциалов •Покажем, что принцип Ферма эквивалентен закону преломления геометрической оптики Оптическая длина, ее вариация: L l1n1 l2 n2 L n1l1 n2l2 n1x sin 1 n2x sin 2 0 •, откуда следует закон преломления геометрической оптики: • Получим аналогичный закон для электронной оптики.Так как параллельная границе раздела компонента скорости не меняется то U2 sin 1 sin 2 U1 l1 sin 1 n2 sin 2 n1 V1 sin 1 V2 sin 2 Следовательно: 1 (где - ускоряющее напряжение) – закон преломления электронной оптики. Таким образом, U - аналог показателя преломления. n1 l2 x 2 V1 1 + - + - + - 2 n2 U1 + - V2 U2 Потенциал аксиально-симметричного электростатического поля. U1 U2 Задание преломляющих поверхностей в виде r сеток затруднительно, поэтому часто z используют диафрагмы с аксиальносимметричным распределением потенциала U r, z 2U 1 2U Потенциал удовлетворяет уравнению Лапласа: U 0 2 2 r r r z Так как U r, z = U r, z , то в результате разложения по будут только четные степени: U r , z b0 z b2 z r 2 b4 z r 4 ... b2 k z r 2 k 2 С учетом U 2b z 12b z r 2 30b z r 4 ... 2 4 6 r 2 1 U 2b2 z 4b4 z r 2 6b6 z r 4 ... r r 2U b0z r 2 b2z r 4 b4z ... 2 z Получим распределение потенциала в пространстве в виде: z r 1 r 1 r IV k U r U r , z U z U ( z ) 2 U IV z U z ... 1 2 2 2 2 2 2 3! k ! 2 2 4 6 2k Таким образом, распределение потенциала аксиально-симметричного поля определяется значением потенциала на оси . 2k Движение параксиальных пучков электронов в аксиальносимметричном электростатическом поле. Для приосевых электронов (r2/L2хар<< r/Lхар, где Lхар – характерная длина системы), которые еще называют параксиальными, можно получить уравнение траектории. Так как , то электроны не вращаются вокруг оси z. Другие компоненты электрического поля определяются из соотношений: U r4 E z U z U z U z z 4 U r r 3 IV r Er U z U z U z z 2 3 2 Уравнение движения для электрона: er U z 2 mz eU z mr eE r { Получим уравнение траектории r(z) параксиального пучка: d 2 r U ' ( z ) dr U '' ( z ) r0 2 2U ( z ) dz 4U ( z ) dz которое называется основным уравнением электронной оптики. Параметры увеличения в электронной линзе. •Основное уравнение электронной оптики является однородным дифференциальным уравнением относительно r второго порядка. Решение, как известно, можно представитьв виде суммы двух частных решений: r z C1r1 z C2 r2 z A B r B rA A rAПредметная плоскость Пусть , частные решения при и rB Плоскость изображени я Изображение в линзе. r z C1r1 z - это совокупность C1r1 z C2 r2 z A траекторий, которые пересекают ось в точках А и В, т.е. в точке В соберутся все электроны, вышедшие из точки А U a U b B b a C1r1 z C2 r2 z r2 b r1b r2 a r1a B Тонкие электростатические линзы. Линейное увеличение линзы: M r (b) r (a) , где Угловое увеличение в линзе. r(a) и r(b) расстояние до траектории от оси r системы. Угловое увеличение линзы, определяемое как отношение тангенсов ' tg r (b) z 2 углов наклона траектории к оси : G ' 1 Из основного уравнения электронной tg 1 r (a) оптики можно получить соотношение 2 между линейным и угловым увеличением U (a) линзы Геометрические параметры линзы. M G U (b) h1 h2 Рассмотрим тонкие линзы, главные r1 z плоскости которых находятся при z = a и при z = b. Для тонких линз расстояние между главными плоскостями много r2 z b z a меньше фокусных расстояний (b - a) << f1, f2 , т. е. главные плоскости сливаются. f1 f 2 1 l1 l2 - основное соотношение тонкой линзы. f1 f2 Геометрические параметры тонкой электростатической линзы. Возьмем основное уравнение электронной оптики в виде: d dr r U z U z U z dz dz 4 Проинтегрируем: a 1 b r z U z dr dr U b U a 4a U z dz b dz a получим: U b U a 1 b U z dz l2 l1 4 a U z получим фокусные расстояния слева и справа: 1 1 f1 4 U a a U z U z B z l2 l1 С учетом основного соотношения тонкой линзы: b A b f1 f 2 1 l1 l2 1 1 U z dz f2 4 U b a U z b dz Для одиночной диафрагмы с круглым отверстием : E z1 E z 2 1 fD 4U d