УТВЕРЖДАЮ - Национальный исследовательский университет

УТВЕРЖДАЮ
ЗАКАЗЧИК
Ректор ________________ Ю.А. Чаплыгин
12 декабря 2014 г.
ПРОТОКОЛ № 246/31401782265-01
рассмотрения ценовых заявок и подведения итогов закупки
г.Москва
12 декабря 2014г.
1. Открытый запрос цен (далее - запрос цен) проводится Заказчиком в соответствии с
требованиями Положения о закупке МИЭТ.
Заказчик: федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего
профессионального образования «Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Место нахождения: 124498 Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5
Почтовый адрес: 124498 Москва, Зеленоград, проезд 4806, д.5
Адрес электронной почты: mari-iv@mail.ru
Номер контактного телефона (499) 7311647
2. Наименование предмета запроса цен: выполнение работ по изготовлению тестовых образцов
фотошаблонов для исследования технологических процессов создания нано- и микросистемной
техники
Извещение о проведении запроса цен было размещено в сети «Интернет» на официальном сайте
http://zakupki.gov.ru/223 и сайте Заказчика http://miet.ru 05 декабря 2014 года.
3. Форма заседания и состав закупочной комиссии:
Форма заседания закупочной комиссии (далее – Комиссии) – очная.
Состав Комиссии определен приказом ректора № 686 от 05 декабря 2014 г. На заседании
присутствуют 4 из 5 членов Комиссии. Кворум имеется, комиссия правомочна.
4. Место, дата, время начала рассмотрения ценовых заявок и подведения итогов закупки:
Процедура рассмотрения ценовых заявок и подведения итогов закупки осуществлялась 12
декабря 2014 года по адресу: Москва, Зеленоград, проезд 4806, дом 5. Время начала рассмотрения
заявок и подведения итогов закупки: 16-15.
5. Существенными условиями договора, который будет заключен с победителем в
проведении запроса цен, являются:
5.1. Наименование, количество товара, требования к качеству, техническим характеристикам
товара, к его безопасности, к функциональным характеристикам (потребительским свойствам)
товара, к размерам, упаковке, отгрузке товара и иные требования, связанные с определением
соответствия поставляемого товара потребностям Заказчика:
Наименование выполнение работ по изготовлению тестовых образцов фотошаблонов для
исследования технологических процессов создания нано- и микросистемной техники
5.1. Требования к выполнению работ:
5.1.1. Виды продукции, которые должны быть разработаны в рамках данной работы.
1 этап - Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов
создания полевых нанокатодов.
2 этап - Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов
создания наноразмерных тонкопленочных высокочувствительных магниторезистивных структур.
5.1.2. Комплектность продукции.
1) Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания
полевых нанокатодов изготавливаются в количестве 8 шт.
2) Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания
наноразмерных тонкопленочных высокочувствительных магниторезистивных структур
изготавливаются в количестве 8 шт.
5.2. Технические требования к продукции.
5.2.1. Требования к тестовым образцам фотошаблонов.
1
Тестовый образец фотошаблона представляет собой стеклянную пластину размером 7
дюймов по спецификации стандарта SEMI, в маскирующем слое которой по заданной
управляющей программе сформирован топологический рисунок слоя с установленными
техническими параметрами.
Плосткостность тестового образца фотошаблона определяется используемым для контактной
литографии типом литографического оборудования и требованиями по воспроизведению размеров
топологических элементов в пределах рабочего поля ( диаметр 150 мм). Дефектность
фотошаблонов должна быть не хуже указанных значений в соответствии с группой качества для
каждого конкретного топологического слоя.
5.2.2. Характеристики тестового образца фотошаблона.
Материал тестового образца фотошаблона: щелочное стекло (sodalime) размером 7 дюймов
по спецификации 7012 SL HRC 15M 1518 5K;
Диаметр рабочего поля тестового образца фотошаблона: не менее 145 мм;
Габаритные размеры стекла тестового образца фотошаблона ШхВ, мм: 177,4х177,4±0,4;
Толщина стекла тестового образца фотошаблона, мм: 3,05 ± 0,1;
Плоскостность тестового образца фотошаблона в рабочем поле, мкм: не хуже 5;
Тип маскирующего покрытия: хром;
Толщина маскирующего покрытия, ангстрем: 1030 ± 50;
Оптическая плотность: 2.8-3.0
5.2.3. Прочие характеристики тестового образца фотошаблона приведены в следующей таблице:
Минимальный
Максимально
Группа
размер на
Допуск на
Воспроизведение Совмещение
допустимый
качества
фотошаблоне
размер [+/-нм]
размера [нм]
[нм]*
размер
[мкм]
дефекта, нм
Q1
>1,00
150
150
150
1000
5.2.4. Тестовые образцы фотошаблонов должны быть совместимы с установкой контактной
литографии типа Carl Suss MA-150.
5.2.5. При изготовлении тестовых образцов фотошаблонов должно быть обеспечено совмещение с
ранее изготовленными комплектами фотошаблонов.
5.2.6. Тестовые образцы фотошаблонов должны соответствовать следующим стандартам:
 международному стандарту SEMI Р10 «Требования ко входным данным при производстве
ФШ»;
 SEMI стандарт: Р1-92 «Твердые поверхности фотошаблонных заготовок»;
 SEMI стандарт: Р2-86 «Хромовые тонкие пленки»;
 VDI стандарт.
5.2.7. Состав комплекта тестовых образцов фотошаблонов для исследования технологических
процессов создания полевых нанокатодов и характеристики фотошаблонов в комплекте.
Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания полевых
нанокатодов
Номер
Группа
Масштаб
Тональность
Описание (согласно
слоя
качества
изображени
технологическому маршруту)
я
Q1
1:1
Светлое поле
МС1
1
Q1
1:1
Темное поле
МС2
2
Q1
1:1
Темное поле
Л1
3
Q1
1:1
Темное поле
Л2
4
Q1
1:1
Темное
поле
Н1
5
Q1
1:1
Светлое поле
Н2
6
Q1
1:1
Светлое поле
Н3
7
Q1
1:1
Темное поле
Н4
8
5.2.8. Состав комплекта тестовых образцов фотошаблонов для исследования технологических
процессов создания наноразмерных тонкопленочных высокочувствительных магниторезистивных
структур и характеристики фотошаблонов в комплекте.
2
Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания
наноразмерных тонкопленочных высокочувствительных магниторезистивных структур
Номер
Группа
Масштаб
Тональность
Описание (согласно
слоя
качества
изображени
технологическому маршруту)
я
Q1
1:1
Темное поле
Н5
1
Q1
1:1
Темное поле
Р1
2
Q1
1:1
Светлое поле
Р2
3
Q1
1:1
Светлое поле
Р3
4
Q1
1:1
Темное поле
Р4
5
Q1
1:1
Темное поле
С1
6
Q1
1:1
Темное поле
С2
7
Q1
1:1
Темное поле
С3
8
5.2.9. Тестовые образцы фотошаблонов изготавливаются по заданной управляющей информации,
которая передается организации, победившей в запросе цен.
5.2.10. Требования к технологии формирования рисунка в маскирующем слое фотошаблонной
заготовки.
5.3. Требования по количеству, периодичности, сроку и месту проведения работ
Срок выполнения работ:
Работы выполняются в 2 этапа (возможно одновременное выполнение работ по этапам) в течение
7 (Семи) рабочих дней с даты заключения Договора, с правом досрочного выполнения работ.
5.4. Передаваемая вместе с работой либо до начала исполнения документация:
До начала выполнения работ Заказчик передает исполнителю:
- техническое задание на выполнение работ;
- управляющую информацию, необходимую для изготовления тестовых образцов
фотошаблонов на электронном носителе.
По результатам выполненных работ Заказчику передаются тестовые образцы фотошаблонов
путем подписания Акта сдачи-приемки выполненных работ .
Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания
полевых нанокатодов изготавливаются в количестве 8 шт.
Тестовые образцы фотошаблонов для исследования технологических процессов создания
наноразмерных тонкопленочных высокочувствительных магниторезистивных структур
изготавливаются в количестве 8 шт.
5.5. Условия приемки работ Заказчиком:
Сдача и приемка выполненных работ осуществляется в соответствии с требованиями ТЗ
путем подписания Акта и передачи Заказчику результатов работ, установленных ТЗ..
Перечень отчетной и другой документации, подлежащей оформлению и сдаче
Исполнителем Заказчику по окончании выполнения работ по Договору, определяется ТЗ.
Факт выполнения Исполнителем работ подтверждается Актом, подписываемым Заказчиком
и Исполнителем после выполнения работ в полном объеме. Исполнитель передает Заказчику
подписанный Акт и отчетные материалы в течение 3 (трех) рабочих дней с даты окончания работ.
В течение 5 (пяти) рабочих дней с момента предоставления Исполнителем подписанного им Акта
и отчетных материалов Заказчик проводит их проверку на соответствие требованиям ТЗ.
По результатам проведения проверки Заказчик подписывает Акт или направляет в адрес
Исполнителя письменный мотивированный отказ от подписания Акта.
5.6. Действия сторон в случае сомнений в качестве работ:
Заказчик в течение 3 (трех) календарных дней с момента обнаружения недостатков
письменно уведомляет Исполнителя обо всех претензиях по качеству работ путем направления
Исполнителю в письменной форме мотивированного отказа. После получения такого уведомления
Исполнитель проводит устранение обнаруженных недостатков без расходов со стороны Заказчика
в течение 10 календарных дней.
5.7.Указание всех существенных условий договора,
3
В случае если просрочка Исполнителем даты окончания работ превысит 5 (Пять) рабочих
дней с момента срока окончания работ Заказчик в безусловном порядке заявляет Исполнителю о
расторжении Договора, что оформляется дополнительным соглашением.
5.9. Начальная (максимальная) цена договора:
600000,00 (Шестьсот тысяч) рублей 00 копеек
Цена включает все расходы, связанные с исполнением Договора, а также затраты на уплату налогов, сборов
и других обязательных платежей.
6. По окончании, указанного в Документации о проведении запроса цен срока подачи ценовых
заявок, 12 декабря 2014 года в 16 часов 00 минут (время московское) поступила 1 (Одна) заявка
от следующего претендента на участие в закупке:
Дата
Время
№ Регистрационны
Сведения о претенденте на участие в
поступлени поступлени
п/п й номер заявки
закупке
я
я
Общество с ограниченной
1
1/246
12.12.2014
10-15
ответственностью «Микрофотоника»
Адрес места нахождения: 248000,
Калужская
область,
г.Калуга,
ул.Первомайская, д.37, офис 1
ИНН 4027114210, КПП 402701001,
ОГРН 1134027001998
7. Комиссия рассмотрела ценовую заявку на участие в запросе цен на соответствие требованиям,
установленным в Документации о проведении запроса цен, и приняла следующее решение:
7.1 Решение о допуске претендента на участие в закупке к участию в закупке и о признании
участником закупки:
Номер
заявки
Претендент на
участие в
закупке
Предложение
претендента
на участие в
закупке, руб.
Решение
Комиссии о
допуске
Обоснование принятого
решения
1/246
ООО
«Микрофотоника
»
600000,00
Допущен, признан
участником
закупки
Заявка соответствует
установленным
требованиям
7.2 Решение об отказе в допуске претендентов к участию в закупке с обоснованием такого
решения: отсутствует.
7.3 На основании п. 6.1.25 закупка признается состоявшейся и Комиссия рекомендует
руководителю Заказчика заключить договор с участником состоявшейся процедуры закупки ООО «Микрофотоника» на условиях, предусмотренных в Документации о закупке и по цене его
заявки 600000,00 (Шестьсот тысяч) рублей 00 копеек, НДС не облагается в соответствии с п.п. 16
п. 3 ст. 149 гл. 21 ч. и ст.346.12 и 346.13 гл.26.2 II Налогового кодекса РФ (в действующей
редакции).
8. Протокол рассмотрения ценовых заявок и подведения итогов закупки составлен в одном
экземпляре и подлежит размещению в сети «Интернет» на сайтах http://zakupki.gov.ru/223 и
http://miet.ru.
9. Заседание комиссии окончено 12 декабря 2014 г. в 16 часов 40 минут по московскому времени.
10. Протокол подписан всеми присутствующими на заседании членами Комиссии
Председателя Комиссии
Член Комиссии
Член Комиссии
Член Комиссии, секретарь
4