Техническое задание на модернизированную печь СДОМ

Техническое задание на модернизированную печь СДОМ-3/100.
1. Модернизированная печь СДОМ-3/100 состоит из следующих систем:
- электропечь;
- газораспределения УГ-5 модернизированная;
- система загрузки;
-система компьютерного управления.
2.Общие технические требования.
Компоновка установки, включая элементы управления и индикации, должны соответствовать
требованиям эргономики и электронной вакуумной гигиены.
2.1
Требования к электропечи:
2.1.1 Количество термических камер - 3. Установить на каждой термической камере рейку
для крепления двух контроллеров термических преобразователей и шести термопар.
2.1.2 Каждая термическая камера должна иметь три термопары в трех секциях нагрева и три
термопары между кварцевой трубой и спиралью сбоку на расстоянии 300мм от центра
рабочей зоны реактора для контроля температур в рабочей зоне камеры на мониторе.
2.1.3. Диапазон рабочих температур: 400-1220оС.
2.1.4. Длина рабочей тепловой зоны не менее 600 мм при следующих значениях
неравномерности распределения температур вдоль рабочей тепловой зоны:
±1,0 о С в интервале температур от 400 до 800 о С
±0,5 о С в интервале температур от 800 до 1220 о С
2.1.5. Нестабильность поддержания температуры (среднеквадратичное отклонение) в рабочей
зоне не более:
0,75 о С в интервале температур от 400 до 800° С
0,50 о С в интервале температур от 800 до 1220 о С
2.1.6. Скорость нагрева от 7 до 10 о С /мин в диапазоне температур от 400 до 1220 о С.
2.1.7. Скорость охлаждения до 2 о С /мин -5 о С /мин в диапазоне температур от 1220 до
400 о С.
2.2
Требования к устройству газораспределения.
2.2.1 Устройство газораспределения должно иметь 2 канала для проведения процессов
окисления и 1 канал для диффузии из жидкого источника.
2.2.2 Термостат жидкостного диффузанта в диапазоне температур от +10 до +40°С с точностью
±1°С.
2.2.3 Подвод газов к реакторам должен производиться в соответствии с чертежами реакторов
Заказчика.
2.3
Требования к системе загрузочной.
2.3.1 При ЗАГРУЗКЕ, ВЫГРУЗКЕ, если не отработали датчики положения верхнего крюка
или нижнего крюка через определенное время, заданное в программе, заслонку не закрывать и
выдать аварийный сигнал.
2.3.2 В режиме ручного управления по каждому каналу выбор направления движения
механизмов перемещения загрузочных устройств должен осуществляться от кнопок
управления ЗАГРУЗКА, ВЫГРУЗКА, ОСТАНОВ.
2.3.3 В режиме автоматического управления по каждому каналу выбор направления
движения
механизмов перемещения загрузочных устройств от дискретных команд
ЗАГРУЗКА, ВЫГРУЗКА, ОСТАНОВ осуществляется микропроцессорной системой
управления. Задание скоростей движения загрузочных механизмов, включение сканирования
производится в технологической программе.
1
2.3.4 На загрузчике при нажатии кнопки «СТОП» предусмотреть следующий алгоритм:
если кнопка нажата во время выполнения команды «ЗАГРУЗКА», или «ВЫГРУЗКА» время
рецепта и сам загрузчик останавливается, и продолжает движение после снятия команды
«СТОП». При нажатии во время выполнения рецепта на других интервалах время рецепта
продолжается до момента начала выгрузки, и выгрузка не производится, пока не будет снята
команда «СТОП».
2.4 Требования к системе управления.
Система управления должна обеспечивать следующие функции:
-выбор и ввод с клавиатуры персонального компьютера хранящегося на его жестком или
гибком диске рецепта технологического процесса;
-ввод номера обрабатываемой партии пластин, количества пластин, наименования
операции (или подоперации), фамилии или табельного номера оператора;
-диагностику состояния основных систем установки и принятое решение о возможности
запуска процесса (согласно списку Заказчика в соответствии с мнемосхемой);
-проведение в автоматическом режиме технологического процесса в соответствии с
назначением данного канала и выбранным рецептом;
-управление температурными режимами в термической камере, обеспечивающее плавный
переход к заданным значениям температуры;
-отображение на мониторе персонального компьютера цветной мнемосхемы канала с
индикацией следующих параметров:
- используемого рецепта процесса, даты и времени его проведения;
- состояния исполнительных органов (нагревателей, каналов газа и т.д.);
- заданных параметров процесса (температуры, расходов газов и т. д.);
-контроль выхода текущих параметров процесса за допустимые пределы по состояниям
«Тревога» и «Авария» и принятие решения о включении тревожной сигнализации или
прекращении процесса;
-автоматический переход на безаварийные интервалы при возникновении аварийных
ситуаций;
- автоматическое сохранение на жестком диске протокола, в котором должно быть
указаны: номер канала, номер процесса, номера партии, номер рецепта, даты проведения
процесса, времени его начала и окончания, а также данные обо всех возникающих во время
проведения процесса выходов параметров за допуск, действий оператора (останов процесса и т.
д.) и температурного графика процесса, с возможностью идентификации и поиска сохраненной
информации (файла) по дате, номеру партии;
-блокировки безопасности по перегреву термической камеры или обрыву цепи
термических преобразователей;
-отображение и ввод информации на экране монитора должно проводиться на русском
языке и с помощью общепринятых символов;
3.
Дополнительные требования к системе управления.
3.1 Ввести на видео кадрах мнемосхем отображение изменений заданий температуры и газов
на интервалах плавным изменением параметров, вместо существующего постоянного задания
этих параметров.
3.2 В программе предусмотреть: если отсутствуют газы, или не включен пускатель в цепи
нагревателя (вывести со свободных контактов пускателя на датчик), нельзя запустить рецепт
на исполнение, и при этом должен включиться сигнальный фонарь красным
продолжительным светом и на экране красным загорается надпись НАГРЕВАТЕЛЬ.
3.3 Ввести в программу допусковый контроль при включении подачи газов. Ввести
задержку контроля по каждому газу в отдельности.
3.4 Предусмотреть по вниманию, чтобы при входе в допусковый контроль мигание
сигнального фонаря прекращалось и начиналось вновь при выходе из допускового контроля с
записью в диагностику.
2
3.5 Предусмотреть подключение всех контроллеров к источнику бесперебойного питания.
Мнемосхема системы управления должна быть в полный экран.
3.6 На мнемосхеме выделять цветом только активные газовые магистрали.
3.7. Отображение и ввод информации на экране монитора, должно проводиться на русском
языке и с помощью общепринятых символов.
3.8.Диагностические сообщения, о состоянии основных систем установки в процессе
выполнения рецепта, действия оператора от команды « ПУСК» до конца «ЦИКЛА», номера
рецепта, даты проведения и времени начала и окончания рецепта, а также данные обо всех
возникающих во время проведения процесса выхода параметров за допуск. Размер поля
должен обеспечивать четкое чтение информации.
3.9. Доступ по паролю задавать по приоритету: НАЛАДЧИК - открыт полный доступ по
всем функциям управления, составления рецептов, и запуска рецептов на исполнение,
ТЕХНОЛОГ- создание и редактирование рецепта, запрета или разрешения изменения
заданных параметров оператором, ОПЕРАТОР- запуск рецепта на исполнение и изменение
допустимых параметров в рецепте.
3.10 Продувка включается автоматически при отсутствии давления в воздушной
магистрали, т.е. в исходном состоянии он нормально открыт (при отсутствии воздуха в
воздушной магистрали).
3.11. Перезапуск системы управления по сбою питания с сохранением состояния на момент
выхода в останов.
3.12. Блокировки безопасности по перегреву термической камеры или обрыву цепи
термических преобразователей, или обрыва предохранителя в цепи тиристора
3.13. На мнемосхеме выделять цветом только активные газовые магистрали и
исполнительные элементы, а также задействовать датчики уровня давления газов в
магистралях и выделять их красным цветом, если они находятся в диапазоне меньше
минимального,
4.Перечень поставляемых Исполнителем блоков, комплектующих, программного
обеспечения и документации на одну модернизированную печь.
4.1. Модернизированный газовый шкаф УГ-5 с 2 каналами для окисления, 1 каналом для
диффузии из жидкого источника - 1шт.
4.2. Блок управления загрузочной системой на 3 канала – 1 шт.
4.3. Блок управления температурой с БУТ– 3шт.
4.4. Стабилизатор температуры диффузанта – 1шт.
4.5. 8-канальный преобразователь I-7018 – 6 шт.
4.6.ЗИП:
- Плата температурного контроллера– 1шт.
- Плата контроллера загрузчика - 1шт.
- Плата газового контроллера – 1шт.
4.7. Программное обеспечение:
4.7.1. Программа составления рецепта.
4.7.2. Программа выполнения технологического процесса.
4.7.3. Программа настройки температуры.
4.8. Шнуры коммутации с РС.
4.9. Инструкции для работы с программами.
5. Шкаф управления для персональных компьютеров и монитора.
Кол-во
5.1. Персональные компьютеры
3
5.2. Мониторы
1
5.3. Переключатели каналов
1
5.4. Блоки бесперебойного питания
3
5.5. Клавиатура
1
5.6. Мышка
1
3