экспресс-информация - ЦНИИ "Электроника"

ЦНИИ «ЭЛЕКТРОНИКА»
ЭКСПРЕСС-ИНФОРМАЦИЯ
по зарубежной электронной технике
Выпуск 50 (6587) от 24 декабря 2015 г.
Еженедельный научно-технический бюллетень
Издается с 1971 г., в электронном виде - с 2003 г.
____________________________________________________________________________
Сегодня в выпуске:
 Прогноз продаж полупроводникового оборудования
 Налоговая скидка на НИОКР в США стала постоянной
 TSMC подал заявку на строительство в КНР завода
по обработке пластин диаметром 300 мм
 Сочетание электронных и фотонных структур в нейрозондах
 Состояние мирового рынка индикаторов на лобовом стекле
 Наноструктурированное металлическое покрытие для
повышения эффективности оптоэлектронных приборов
 Волоконно-оптические датчики: последние разработки
 Эксимерные лазеры второго поколения для литографии
____________________________________________________________________________
Экономика
Прогноз продаж полупроводникового оборудования
По данным SEMIi, мировые продажи нового полупроводникового оборудования в
2015 г. сократятся на 0,6% - до 37,3 млрд. долл. В 2016 г. ожидается расширение
рынка на 1,4% (см. рисунок). Предполагается, что крепнейший сектор, оборудование
для обработки пластин, в 2015 г. увеличится на 0,7% (до 29,5 млрд. долл.). Продажи
в категории «Прочее оборудования начальных этапов обработки» (вспомогательное
оборудование заводов по обработке пластин, оборудование изготовления
шаблонов/промежуточных
шаблонов,
оборудование
по
производству
полупроводниковых пластин) вырастут на 20,6%. Сектор оборудования сборки и
корпсирования ИС сократится на 16,4% (до 2,6 млрд. долл.), а оборудования
тестирования - на 7,4% (до 3,3 млрд. долл.).
Крупнейшими странами/регионами по отчислениям на оборудование в 2015 г.
останутся Тайвань, Ю. Корея, С. Америка. При это затраты на оборудование в Японии
достигнут уровня С. Америки.
Относительно 2016 г. SEMI предсказывает, что продажи полупроводникового
производственного оборудования в Европе по сравнению с 2015 г. увеличатся на
63,1% (до 3,4 млрд. долл.) – главным образом это будет достигнуто за счёт увеличения ассигнований GLOBALFOUNDRIES, Infineon, Intel и STMicroelectronics - после 13%
сокращения расходов в 2015 г. В прочих странах мира, особенно в Юго-Восточной
Выпуск 50 (6587) от 24 декабря 2015 г.
2
Азии, продажи достигнут 2,5 млрд. долл. (+25,7%), рынок КНР расширится на 9,1% (до
5,3 млрд. долл.), продажи в С. Америке составят 5,9 млрд. долл. (+6,1%). Рынки оборудования в Японии, Ю. Корее и Тайване в 2016 г. ожидает сокращение.
Semiconductor equipment sales forecast: $37B in 2015 and $38B in 2016. Solid State Technology.
The Pulse, December 18, 2015
Госрегулирование
Налоговая скидка на НИОКР в США стала постоянной
Конгресс США предпринял важный шаг в поддержке производственной и инновационной сферы страны. На днях было принято решение о придаче налоговой
скидке постоянно действующего статуса. SEMI добивалась этого с 1981 г., когда данная скидка впервые была введена сроком на год. Теперь высокотехнологичные
фирмы, и в первую очередь изготовители микроэлектроники, смогут ежегодно инвестировать до 15% своей прибыли на НИОКР без налогообложения.
За последние 34 года налоговая скидка на НИОКР вводилась 17 раз, от случая к
случаю. Отмечается, что придание данной скидке статуса постоянно действующей поможет укрепить конкурентоспособность американских фирм на международной
арене, сделать более надёжными и определёнными перспективы долгосрочных исследовательских программ.
Обеспечение постоянного статуса налоговой скидки на НИОКР было включено в
более широкомасштабный проект налоговой поддержки инновационной деятельности, внесённой в Конгресс администрацией президента США в сентябре текущего
года. Помимо налоговой скидки на НИОКР предусмотрено продление инвестиционного налогового кредита (Investment Tax Credit, ITC) в области солнечной энергетики.
Ставка ITC в размере 30% была снижена до 10% к концу 2016 г. однако по результатам
дебатов в Конгрессе ставка вновь была поднята до 30% на период до 2019 г., с последующим постепенным снижением до 10% к концу 2021 г.
SEMI отмечает, что налоговые льготы на НИОКР и ITC являются хорошими примерами лоббистской деятельности в пользу высокотехнологичных компаний и станут
Выпуск 50 (6587) от 24 декабря 2015 г.
3
одним из средств оздоровления общеэкономической ситуации в стране и важным
фактором ускорения инновационного процесса.
SEMI applauds congressional action to make R&D tax credit permanent; extend solar tax credit.
Solid State Technology. Wafer News, December 21, 2015
Производственные мощности
TSMC подал заявку на строительство в КНР завода
по обработке пластин диаметром 300 мм
Крупнейший кремниевый заводii, TSMC, подал заявку в Инвестиционную комиссию Министерства экономики Тайваня на строительство в КНР завода по обработке
пластин диаметром 300 мм. Завод будет являться полной собственностью фирмы,
помимо собственно производственных мощностей в Нанкине предполагается создать
центр проектирования ИС.
Планируемая мощность завода - 20,0 тыс. пластин в месяц с использованием 16нм технологического процесса. Начало производства – вторая половине 2018 г. Центр
проектирования призван поддерживать деятельность экосистемы TSMC в КНР. Сооружение завода связано с ожиданиями быстрого развития рынка полупроводниковых
приборов в Китае и призвано укрепить позиции TSMC в этой стране.
TSMC applies for 12-inch wafer fab and design service center in China. Solid State Technology.
Wafer News, December 21, 2015
Микроэлектроника
Сочетание электронных и фотонных структур в нейрозондах
На международной конференции по электронным приборам (IEDM-2015) Межуниверситетский центр микроэлектроники (IMEC), Католический университет г. Лёвен
и научно-исследовательский центр нейроэлектроники Фландрии (NERF) представили
набор кремниевых нейронных зондов, объединяющих 12 монолитно интегрированных
оптродовiii, изготовленных по КМОП совместимому процессу. Данные зонды обеспечивают оптическое моделирование и электронное детектирование отдельных нейронов на основе методик оптогенетики. Это открывает путь к большему пониманию человеческого мозга и изучению нарушений мозговой деятельности, таких как болезнь
Альцгеймера, шизофрения, аутизм и эпилепсия.
Громадные нагрузки, которые оказывают нарушения мозговой деятельности человека на конкретных людей и систему здравоохранения в целом требуют нахождения эффективных методов профилактики и лечения. Ныне доступные приборы, обеспечивающие возможность записи нейронной активности в целях изучения деятельности мозга обычно ограничены по числу электрических каналов. Кроме того, мозг состоит из многих типов генетически и функционально различных нейронов, и стандартные зонды не могут разрешить вопросы неоднозначности записи электрических сигналов в соответствии их источником. Предложенные IMEC и Католическим университетом Лёвена новые нейронные зонды помогают решить эту проблему и обеспечить
большее понимание природы мозговых заболеваний.
Новые зонда, предложенные IMEC и Католическим университетом Лёвина объединяют в себе электронные и фотонные структуры, обеспечивающие предельно чувствительные измерения. Эти полностью интегрированные имплантируемые нейронные системы обладают новейшими возможностями обнаружения, обработки и интер-
Выпуск 50 (6587) от 24 декабря 2015 г.
4
претации нейронных данных на клеточном уровне. Представленные системы характеризуются высокой плотностью расположения электродов и нанофотонных схем (оптродов). Подобные оптроды обычно используются для оптического исследования
одиночных нейронов с использованием методов оптогененики, технологии, в рамках
которой нейроны генетически модифицируются с целью придания им свойств светочувствительности, и, за счет этого, пригодности к моделированию с использованием
световых импульсов.
Измерительный наконечник с активированным световым выходом
Imec, KU Leuven and NERF combine electronics and photonics in neural probes. Solid State
Technology. The Pulse, December 18, 2015
Дисплеи/экономика
Состояние мирового рынка индикаторов на лобовом стекле
Согласно отчету компании по анализу рынка MarketsandMarkets «Рынок индикаторов на лобовом стекле – глобальный прогноз до 2020 г.», мировой спрос на индикаторы на лобовом стекле (ИЛС) за период 2015-2020 гг. возрастет до 9,02 млрд.долл.
при среднегодовом темпе роста в сложных процентах (CAGR) 26,23%. В 2014 г. рынок
ИЛС составил 2,23 млрд.долл. Прогнозируется, что за данный период рынок для автомобильного сектора будет расти с CAGR 29,28%, что обусловлено ростом спроса в
мире на автомобили среднего класса и спортивные автомобили.
В отчете особое внимание уделяется оригинальной технологии создания объемных изображений, называемой DFDiv и разработанной компанией NTT IT совместно с
Hitachi. Принцип действия DFD базируется на выводе на дисплей «двуслойного» изображения с различной яркостью слоев. В отличие от 3D дисплеев с параллаксным барьером, DFD позволяет смотреть на объемное изображение длительное время без
утомления глаз. Такой дисплей содержит две фокальные плоскости и системы линз,
устанавливающие глубину путем изменения отношения яркостей между изображениями. Электрически управляемые жидкие линзы могут объединять переднюю и заднюю
фокальные плоскости с соответствующими изображениями. Такие линзы допускают
проецирование большого числа изображений на различных расстояниях от наблюдателя до экрана, что представляет контент 3D изображений. Такая технология перспективна для автомобильной промышленности.
В отчете представлены следующие категории и промышленные тренды для мирового рынка ИЛС:
 Рынок по компонентам: генераторы видеосигналов, проекторы, ПО, объединители и др.;
 Рынок по областям применения: военная и гражданская авиация, автомобили высшего класса, спортивные автомобили и автомобили среднего
класса;
Выпуск 50 (6587) от 24 декабря 2015 г.

5
Рынок по географическим регионам: Северная Америка (США, Канада и
др.), Европа (Западная Европа и Восточная Европа), Азиатско-Тихоокеанский регион (КНР, Япония, Южная Корея и др.) и остальные регионы (Средний Восток и Южная Америка);
 Перспективы конкуренции;
 Информация о компаниях: детальный анализ ведущих компаний на рынке
ИЛС;
 Изготовление на заказ: детальный анализ данных для отдельных стран и
определение профиля дополнительных игроков на рынке (до пяти).
В настоящее время ведущее положение на мировом рынке ИЛС занимает Европа, однако ожидается, что рынок Азиатско-Тихоокеанского региона будет расти с
наибольшим CAGR (28,62%) за прогнозируемый период. Наиболее активно рынок для
автомобилей высшего и среднего класса растет в таких странах, как КНР и Япония,
что связано с притоком капиталов.
Технология ИЛС является важной функциональной возможностью авиации и автомобильной промышленности, и, по мнению аналитиков, развивающимся трендом
на рынке является дополненная реальность. Основным принципом дополненной реальности является совмещение на экране реального текущего изображения и виртуальной информации, имеющей непосредственное отношение к видимым объектам.
По утверждению специалистов, для сложных систем дополненной реальности потребуется большое поле зрения с высокой информационной плотностью; при этом дисплей должен реагировать со временем задержки обновления менее 20 мс. Задержка
в настоящее время является значительной проблемой, и для ИЛС требуется обработка информации на уровне класса настольных компьютеров. В дальнейшем планирует решить данную проблему, так как при увеличении вычислительной способности
можно будет получить достаточно высокоскоростное обновление информации.
Работающие в данном направлении исследователи Аризонского и Коннектикутского университетов описали и продемонстрировали новый метод дополненной реальности на основе наложения трехмерных изображений (вместо стандартных двумерных). В своем дисплее исследователи использовали оптику произвольной формы
и интегральное формирование изображений, осуществляемое путем захвата большого числа изображений объекта с различных точек зрения (элементарных изображений) и использования таких изображений для оптического формирования трехмерного изображения. При трехмерном представлении информации не требуется переключение глаз между трехмерным миром и двумерными изображениями. Кроме того,
трехмерное изображение формируется без использования стереографического глубинного зрения. При использовании такого подхода удастся уменьшить напряжение
зрения пользователя.
Технология дополненной реальности для ИЛС обеспечивает функции полноцветного электронного помощника водителя (ADASv), включая визуальную предупредительную сигнализацию и сигнализацию о полосе движения. Кроме того, ИЛС обеспечивает помощь водителю, предоставляя показания скорости транспортного средства, данные навигационной системы, указание направления дороги, указание уровня
топлива, индикацию расстояния между транспортными средствами, а также предупреждающие сообщения для транспортного средства и другую информацию для водителя.
В настоящее время автомобилестроение занимают лидирующее положение на
рынке ИЛС при наибольших темпах роста для автомобилей высшего класса, премиум
Выпуск 50 (6587) от 24 декабря 2015 г.
6
класса и спортивного сегмента. В настоящее время производители ИЛС в основном
сосредоточены на автомобилях среднего класса из-за их относительных низких цен.
К передовым технологиям на рынке ИЛС относятся дисплеи светового поля, разработанные в лаборатории MIT Media Laboratory Калифорнийского университета в
Беркли, с которыми даже близорукий человек может работать без очков, ИЛС на основе DFD, лазерные волюметрические 3D дисплеи, квантовые фотонные формирователи изображений и другие. В отчете проанализирован не только мировой рынок ИЛС,
но и представлены перспективы, движущие силы и ограничения.
Основными игроками на этом рынке являются BAE Systems (Великобритания),
Continental AG (Германия), Visteon (США), а также японские компании Denso, Nippon
Seiki и Yazaki.
John Keller. Global market for heads-up display (HUD) technology grows to $9 billion by 2015. Military and Airspace Electronics, November 16, 2015.
Оптоэлектроника/нанотехнологии
Наноструктурированное металлическое покрытие для повышения
эффективности оптоэлектронных приборов
Исследователи Иллинойского университета в Урбана-Шампейн и Массачусетского университета в Лоуэлле разработали неотражающее тонкопленочное покрытие,
которое благодаря наноструктуре повышает прохождение света через него и в результате увеличивает эффективность оптоэлектронных приборов (светодиодов, солнечных элементов и датчиков). Известно, что на границе между двумя материалами
(например, полупроводником и воздухом) часть света отражается, что ухудшает эффективность светодиодов (при излучении) и солнечных элементов и датчиков (при
поглощении). Для описания отражения и пропускания на границе перехода между
двумя материалами исследователи использовали модель на основе уравнений Френеля.
Исследователи использовали запатентованный метод химического осаждения
металлических покрытий MacEtch, разработанный в Иллинойсе. Метод позволяет выгравировать наноструктурированную металлическую пленку на поверхности полупроводника для создания матрицы наностолбиков, возвышающихся над металлической
пленкой (см. рисунок). Матрица таких наностолбиков, образующих структуру «глаз бабочки», вместе с металлической пленкой позволила получить частично покрытый полупроводниковый материал, по отражательной способности превосходящий необработанный полупроводник. Матрица наностолбиков, вытравленных в тонком слое металла с решетчатой структурой, создает неотражающую поверхность, которая может
повысить характеристики оптоэлектронных приборов.
Такое покрытие не только пропускает больше света, но и обеспечивает электрический доступ к полупроводнику; обе эти особенности имеют определяющее значение
для оптоэлектроники. Структуры «глаз бабочки» использовались и ранее, однако они
обеспечивали увеличение пропускания света, но препятствовали электронному переносу, создавая барьер для лежащего под структурой материала. Таким образом, новое покрытие в виде структуры наностолбиков «глаз бабочки» повышает оптическое
пропускание, а металлическая пленка обеспечивает электрический контакт, т.е. с помощью новой технологии удалось одновременно повысить оптическое пропускание и
электрический доступ.
Выпуск 50 (6587) от 24 декабря 2015 г.
7
Новая технология обеспечивает металлическое покрытие примерно для половины поверхности, что приводит к прохождению примерно 90% излучения через поверхность раздела материалов и из нее. Для сравнения, неструктурированная поверхность без металла пропускает примерно 70% света и в ней отсутствует металлический контакт. Кроме того, продемонстрирована возможность управления оптическими характеристиками материала путем регулирования размера структуры металлической пленки и глубины травления в полупроводнике.
В дальнейшем планируется интегрировать наноструктурированные пленки в
оптоэлектронные приборы для демонстрации одновременного повышения оптических
и электронных характеристик приборов, работающих в диапазоне длин волн излучения от видимого до дальнего ИК излучения.
Исследование поддерживалось Национальным научным фондом и компанией
Lam Research.
Nanostructured Thin Films Boost Optoelectronics' Efficiency. Photonics Spectra, Dec. 10, 2015
Paul Buckley. Nanostructured metal coatings enable higher-efficiency optoelectronic devices. EE
Times Europe, December 10, 2015.
Runyu Liu, Xiang Zha0, Ch. Roberts et al. Enhanced Optical Transmission through MacEtch-Fabricated Buried Metal Gratings. Advanced Materials (doi: 10.1002/adma.201505111).
Оптоэлектроника
Волоконно-оптические датчики: последние разработки
Волоконно-оптические датчики широко применяются в различных областях
науки и техники. Благодаря этим устройствам зондирующее излучение может передаваться практически в любые недоступные места. Также обеспечивается сбор информации по всей длине оптоволокна. При помощи таких датчиков можно измерять вибрации, сопротивление, температуру, положение в пространстве и другие параметры.
По мнению специалистов изготовителя передатчиков для волоконно-оптических датчиков фирмы Sensuron (Остин, шт.Техас), важным достоинством волоконно-оптических датчиков является возможность применения различных методов мультиплексирования передаваемых сигналов.
Согласно прогнозу Консорциума по фотонным датчикам, мировой рынок волоконно-оптических датчиков может вырасти с 585млн. долл. в 2013г. до 1,05млрд. долл.
в 2019г.
Отмечается, что в некоторых случаях наряду с оптоволокном в волоконно-оптических системах дистанционного контроля применяются волоконно-оптические усилители.
Фирма Pepperl+ Fuchs North America (Туинсберг, шт.Огайо), производящая промышленные датчики, использует оптоволоконный кабель, который выдерживает температуру до 900оF(482оС).
На фирме Prime Photonics (Блэксберг, шт.Виргиния) оптоволокно используется
для измерения зазора между головками зубьев и вибрации лопаток газовой турбины.
Эти параметры очень важны для работы авиационных двигателей. Однако, измерения данных характеристик необходимо производить при работающем двигателе, что
было бы невозможно без датчиков, соединенных с оптоволокном. В настоящее время\
волоконно-оптические датчики используются в системах тестирования авиационных
двигателей. Однако в будущем эти устройства станут частью системы управления самолета.
Выпуск 50 (6587) от 24 декабря 2015 г.
8
На фирме Avago Technologies, базирующейся в Сингапуре и в г. Сан-Хосе (шт.
Калифорния), выпускают волоконно-оптические датчики, работа которых основана на
воздействии окружающей среды на оптоволокно. Один из таких датчиков детектирует
электрический пробой в промышленном оборудовании. Специально для этого устройства на фирме разработано оптоволокно с прозрачным покрытием, через которое оптический приемопередатчик фиксирует вспышки света, указывающие на короткое замыкание. Главным достоинством данной системы является возможность мониторинга
большого количества коммутационных устройств. Также она гораздо проще и дешевле традиционных точечных датчиков. Другими новинками фирмы Avago
Technologies являются волоконно-оптические тензодатчики. Устройства могут применяться для мониторинга нагрузки на лопасть ветряного двигателя с изменяющимся
углом наклона. Волоконно-оптические тензодатчики также могут использоваться для
контроля состояния различных конструкций.
Фирма Sensuron выпускает датчики, которые осуществляют контроль сопротивления, температуры, механической нагрузки и вибрации, а также положения в 2D и 3D
пространстве. Также фирма поставляет устройства для мониторинга магнитного поля
и химических веществ. Продукция фирмы перспективна для использования в различных медицинских системах. Так, медицинское оборудование с волоконно-оптическими датчиками позволяет определять положение какого-либо инструмента внутри
тела, а также температуру окружающей его ткани. Датчики помогают хирургу ощущать
силу давления инструмента на ткань.
Недавно созданная компания Intelligent Fiber Optic Systems (Санта-Клара, шт. Калифорния) также занимается продвижением технологии волоконно-оптических датчиков к промышленному освоению. В настоящее время она предлагает четыре технологических платформы датчиков. Первая базируется на изготовленных в сердцевине
оптоволокна дифракционных решетках Брэгга. В одном оптоволоконном жгуте размещается несколько сотен таких решеток, каждая из которых работает как датчик, непосредственно измеряющий сопротивление и температуру. Косвенно может осуществляться измерение электрического и магнитного полей, давления и химических веществ. При этом применяется сложная аппаратура, которая обрабатывает измерения
небольших спектральных сдвигов. Для проведения таких измерений на фирме разработаны специальные быстродействующие оптические передатчики с высоким разрешением. Вторая технологическая платформа основана на использовании рассеянного излучения в оптоволокне и применяется для измерения температуры в энергетических системах. В третьей технологической платформе используются методы интерферометрии. Она предназначена для гироскопов и других устройств. Четвертая
платформа относится к биохимическим датчикам и включает оптоволокно с частично
удаленным покрытием, вместо которого нанесен химически чувствительный материал.
Отмечается, что возможности и области применения волоконно-оптических датчиков постоянно расширяются. В результате наблюдается постепенное снижение их
стоимости. По мнению специалистов, дальнейшему распространению данной технологии будет способствовать стандартизация и снижение стоимости специализированного волокна, которое сейчас стоит в десятки раз выше стандартного оптоволокна. Во
Втором университете Неаполя (Италия) исследуются возможности использования волоконно-оптических датчиков для мониторинга мест с повышенной геоопасностью.
Специалисты применяют эти устройства для измерения распределенного сопротивления вдоль опасного склона вблизи Неаполя и по поверхности неустойчивого участка
Выпуск 50 (6587) от 24 декабря 2015 г.
9
почвы вблизи Потенци с целью определения мест возможных оползней. Для получения полной информации волоконно-оптический кабель располагается по всему исследуемому участку при помощи геотехники. В процессе проведения измерений применяется временной анализ оптического рассеяния Мандельштама-Бриллюэна. Данный
метод позволяет считывать значения сопротивления через каждый метр оптоволокна
общей длиной 50км. Промышленный выпуск данных систем осуществляет фирма
Optosensing (Неаполь, Италия).
Hank Hogan. With fiber comes miles-long and multiplexed sensors. Photonics Spectra, December
2015
Квантовая электроника
Эксимерные лазеры второго поколения для литографии
Фирма Cymer (Сан-Диего, шт. Калифорния), которая производит источники света
для систем литографии, объявила о выпуске эксимерного лазера (ArF) второго поколения. Новое устройство отличается пониженным потреблением неона. Как известно,
неон используется при эксплуатации полупроводниковых источников света. В последнее время наблюдается нехватка этого газа. По оценкам специалистов, разработанная на фирме Cymer технология газового контроля в ближайшем будущем позволит
снизить потребление неона на 75%. Это уменьшит зависимость производителей ИС
от сокращающихся поставок неона и нестабильных цен на этот газ. Такие успехи достигнуты благодаря проведению с начала 2015г. Программы по снижению потребления неона (Neon Reduction Program). Цель программы заключается в уменьшении потребления неона в лазерах на фториде аргона и фториде криптона на 50% и 30%,
соответственно. В программу включены следующие мероприятия:
- обеспечение производителей ИС краткосрочными решениями по незамедлительному сокращению потребления неона;
- расширение утвержденного списка поставщиков газа при помощи оперативной
качественной оценки;
- разработка новой технологии газового контроля, которая позволит снизить потребление неона при сохранении качества и количества выпускаемых источников излучения;
- осуществление долгосрочной программы сбора и переработки неона, позволяющей снизить спрос на этот газ.
На фирме Cymer продолжаются работы по созданию систем улавливания и
накопления использованного неона. Специалисты фирмы разрабатывают оборудование рециркуляции газа, которое может устанавливаться на полупроводниковых предприятиях и которое обеспечит местную рециркуляцию посредством последовательной фильтрации и восстановления правильной газовой смеси для повторного использования.
Отмечается, что мировое потребление неона на предприятиях полупроводниковой промышленности превышает 70 млн. л или 200 млн. долл.
Gail Overton. Cymer second-generation lithography lasers reduce neon consumption. Laser Focus
World, 12/16/2015
____________________________________________________________________________
Подготовка бюллетеня “Экспресс-информация по зарубежной электронной технике”
осуществляется отделом информационно-аналитических исследований
(нач. отдела/шеф-редактор - Макушин М.В., 940-65-47) АО “ЦНИИ “Электроника”,
Выпуск 50 (6587) от 24 декабря 2015 г.
10
под общей редакцией д.т.н., проф. Мартынова В.В.
127299, Москва, ул. Космонавта Волкова, 12
Контактные телефоны: (495)940-65-47; e-mail: makushin_m@instel.ru,
zheleznova_l@instel.ru.
Лицензия на издательскую деятельность № 04650 от 26.04.01, серия ИД, код 221
Выпуск готовили: М. Макушин, Л. Железнова, Н. Гузенкова, А. Симонова.
SEMI - Semiconductor Equipment and Material International – Международная организация
поставщиков оборудования и материалов для производства полупроводниковых приборов
ii
foundry - кремниевый завод, производство ИС по спецификациям заказчика с предоставлением заказчику широкого спектра услуг использования инструментальных средств
фирм-союзников из числа поставщиков САПР для проектирования собственных ИС с использованием базы библиотек стандартных элементов различных fabless- и IDM-фирм (по
контрактам foundry c последними), платформ и сложнофункциональных блоков (на тех же
условиях). Кремниевые заводы могут заниматься разработкой новейших технологических
процессов, но разработкой собственных конструкций ИС, как правило, не занимаются.
iii
optrode – оптрод, оптоволоконный сенсор, детектирующий по флуоресценции взаимодействие антитела с антигеном
iv
Depth-fused 3D.
v
Advanced Driver Assistance System.
i