Оснастка из карбида кремния PDF 5,3 Mb

Федеральное Государственное Унитарное Предприятие «Научно-Исследовательский Институт «НаучноПроизводственное Объединение «ЛУЧ» (ФГУП «НИИ НПО «ЛУЧ») является предприятием, входящим в
Госкорпорацию «РОСАТОМ».
База
ФГУП «НИИ НПО «ЛУЧ» располагает технологической, научно-исследовательской базой, средствами контроля и
высококвалифицированным персоналом.
Профиль
Лаборатория керамических материалов ФГУП «НИИ НПО «ЛУЧ» около 30 лет занимается исследованиями и
разработкой технологических процессов по производству изделий из карбидных материалов для наземных и
космических ядерных установок и для других инженерных применений.
Материалом, наиболее изученным в лаборатории керамических материалов ФГУП «НИИ НПО «ЛУЧ», является
карбид кремния. Лаборатория керамических материалов ФГУП «НИИ НПО «ЛУЧ» располагает практически всеми
известными процессами изготовления изделий из карбида кремния, такими как спекание, реакционное спекание,
горячее прессование, химическое паровое осаждение (СVD), сублимация.
Лаборатория керамических материалов ФГУП «НИИ НПО «ЛУЧ» владеет методами изготовления охлаждаемых и
неохлаждаемых зеркал, предназначенных для высокомощных лазеров и для астрономической оптики, размерами
до 1000 мм диаметром и с различной геометрией. Подложка большеразмерных зеркал - легковесная ячеистая
структура.
ФГУП «НИИ НПО «ЛУЧ» принимает участие в целевой программе по созданию твердотельных лазеров
на полупроводниковых диодах. Для этой программы лаборатория керамических материалов ФГУП «НИИ НПО
«ЛУЧ» разработала процесс получения поликристаллического карбида кремния методом сублимации. Этот
материал не имеет аналогов в мире по своим термосвойствам.
Также лаборатория керамических материалов ФГУП «НИИ НПО «ЛУЧ» разработала процесс и организовала
производство пористых изделий из SiC с контролируемым размером пор, с пористостью до 80%.
Ключевым направлением лаборатории керамических материалов ФГУП «НИИ НПО «ЛУЧ» является производство
изделий сложных форм из особо чистого карбида кремния для высокотемпературных диффузионных процессов
производства БИС и СБИС. По заключению лидирующих иностранных компаний, таких как Сименс, Филипс,
Микроконтрол Электронике, Томпсон Электронике, продукция нашего предприятия соответствует мировому
уровню.
-2-
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Company status
Federal State Unitary Enterprise Scientific Research Institute Research Industrial Assosiation “LUCH”.
Resources
SIA “LUCH” possesses technological, material-science research and test bases; facilities and highly skilled personnel.
Profile
Ceramics materials laboratory of SIA “LUCH” (CML of SIA “LUCH”) has been over 30 years engaged in research,
development of technological processes for and output of products from carbide materials for ground-based and spacebased nuclear power plants and, for other engineering applications.
The material, most studied at CML of SIA “LUCH” is silicon carbide. CML of SIA “LUCH” has at its disposal practically all
the known fabrication processes for silicon carbide products such as sintering, reaction-bonding, hot pressing, chemical
vapor deposition, sublimation.
CML of SIA “LUCH” is capable of fabrication processes for cooled and uncooled mirrors based on silicon and silicon
carbide intended for high-power lasers and astronomical optics, being up to 1000 mm diameter, various geometry. The
large diameter mirror substrates are made in the form of egg-crate type light structures.
CML of SIA “LUCH” takes part in a purpose program on creation of a family of solid lasers excited by semiconductor
diodes. For this program, CML of SIA “LUCH”has developed a process to obtain polycrystal silicon carbide using
sublimation technique, the material has no worldwide analogues in respect to its thermal properties.
Also, CML of SIA “LUCH” has developed a process for and organized production of porous articles of SiC with controlled
pore size and up to 80% porosity..
The key direction of the CML of SIA “LUCH” efforts is production of completing parts from high-purity silicon carbide for
high-temperature diffusion processes in BIC and SBIC manufacture. On the conclusion of leader foreign companies such
as Siemens, Philips, Microcontrol Electronics, Thompson Electronics, the Lutch’s products are in compliance with the
worldwide level.
-3-
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Техническое оснащение
Лаборатория керамических материалов ФГУП “НИИ НПО “ЛУЧ” владеет всеми известными процессами
получения продукции из карбида кремния, среди них: традиционное спекание, реакционное спекание, горячее
прессование, химическое паровое осаждение (СУГ)), сублимация. Лаборатория керамических материалов
ФГУП “НИИ НПО “ЛУЧ” располагает всем комплексом технологий для получения большеразмерных изделий из
керамических композитов, а именно:
1. Установки для получения однородных формовочных масс.
2. Установки для гидростатического прессования заготовок диаметром до 400 мм и длиной до 1100 мм; и
традиционного прессования заготовок размером до 1 м.
3. Установки для термообработки, с оборудованием для различных ступеней термообработки, включая печи,
обеспечивающие температуру процесса до 3000К.
4. Машинный парк с наличием прецизионных станков для обработки изделий диаметром до 1000 мм и 1000 мм
длиной, с использованием алмазных инструментов.
5. Установки для сварки изделий из карбида кремния.
6. Средства контроля продукции, с наличием экспериментальных инструментов для различного типа
контроля прочностных и термических свойств, в частности, стенд для контроля высокотемпературной прочности
полноразмерных изделий.
7. Помещения для хранения готовой продукции.
Ноу-хау
Лаборатория керамических материалов ФГУП “НИИ НПО “ЛУЧ” обладает достижениями в области получения
особо чистого карбида кремния, сварки элементов из реакционно-спеченного карбида кремния; изготовления из
карбида кремния ячеистой структуры различного дизайна; инфильтрации расплавленного кремния; формования
большеразмерных заготовок и тонких листов из керамических порошков; получения финишной оптической
поверхности на изделиях из карбида кремния.
Мы имеем отличные отзывы от ведущих фирм (Филипс Сименс и др.) о характеристиках нашей продукции.
Основная продукция
Лаборатория керамических материалов ФГУП “НИИ НПО “ЛУЧ” обладает уникальными процессами изготовления
комплектующих компонентов из реакционно-спеченного карбида кремния для оснащения диффузионных
процессов производства БИС И СБИС. Материалом данных комплектующих компонентов является карбид кремния
особо высокой чистоты. Вследствие этого материал имеет высокую теплопроводность, прочность, высокое
сопротивление ползучести, стойкость к воздействию неорганических кислот. В настоящее время предприятие
имеет мощности для производства комплектующих компонентов для производства 4-8-дюймовых пластин для БИС
и СБИС. Комплект компонентов включает диффузионную трубу, консоль и кассеты.
-4-
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Technical Equipment
CML of SIA “LUCH” is capable of all the known processes to obtain silicon carbide products; among those: traditional
sintering, reaction-bonding, hot pressing, chemical vapor deposition, sublimation. There is a unity of processing
facilities for producction of large-size ceramic composition articles, viz.:
1. Facility of preparation of uniform molding masses.
2. Facility of hydrostatical molding of blanks, diameter up to 400 mm and length up to 1100 mm; and traditional
pressing of blanks, size up to 1 m.
If necessary, slip casting may be implement.
3. Facility of heat treatment, having thermic equipment for different step heat treatment, including furnaces providing
up to 3000K process temperature.
4. Facility of machining, having precision machines for articles of up to 1000 mm diameter and over 1000 mm length,
using diamond tools.
5. Facility of silicon-carbide article welding.
6. Facility of product control, equipped with experimental instruments allowing various type control over strength and
thermal properties, in particular, a stand to test for high-temperature strength of full-size products.
7. Facility of storage of off-the-shelf items.
Know - How
CML of SIA “LUCH” possesses breakthroughs relating to obtention of extremely pure silicon carbide powder; welding of
reaction-bonded silicon carbide parts; fabrication of various silicon carbide egg-crate design; molten silicon infiltration;
molding of large size blanks and thin sheets of ceramic powders; finishing of optic surfaces from silicon carbide.
We have got favorable references of leader firms (Philips, Siemens and others) to our production performance, which
incorporates the above cited and other breakthroughs.
Basic Production
CML of SIA “LUCH” possesses a unique processes to make, from reaction-bonded silicon carbide, components for
running diffusion processes in production of SBIC. The components’ material is reaction-bonded silicon carbide of very
high purity. To that, the material has a high heat conductivity, strength, high-temperature creep resistance, resistance
to inorganic acids.
Currently, CML of SIA “LUCH” has capacities to produce silicon carbide components fit to 4”- 8” wafers for BIC and
SBIC. TThe set of components includes a diffusion tube, cantilever paddle and cassettes.
-5-
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Преимущества
По сравнению с обычными кварцевыми компонентами карбидокремниевые изделия имеют следующие
преимущества:
- многократное снижение диффузии примесей;
- подъем рабочей температуры до 1350°С;
- увеличение срока службы в 10-15 раз;
- исключение заклинивания и поломки кремниевых пластин;
- чистка возможна на любой стадии процессионного цикла;
- полная совместимость со всеми материалами рабочего оборудования;
- реализация мягкой посадки и бесконтактная загрузка кассет;
- возможность полной автоматизации процесса.
Для изготовления компонентов используется особо чистый реакционно-спеченный карбид кремния,
пропитанный кремнием стандартной электронной чистоты.
Примеси, находящиеся в этом материале, даны в следующей таблице:
Элемент
Содержание примесей,
не более, ррm
Элемент
Содержание примесей,
не более, ррm
Элемент
Содержание примесей,
не более, ррm
Mn
0,16
Mo
<0,5
Au
<1
Dy
0,005
Cu
1,1
Cr
1,1
U
<0,01
W
0,52
Ni
1,25
Th
0,15
Na
1,013
Co
0,2
La
<0,05
К
1,02
Fe
1,02
Sb
<0,2
Sc
<0,05
Hf
0,025
Та
0,011
Zr
<0,5
Ir
<0,01
Свойства материалов
Пористость
<1%
Плотность, г/см
2,9-3,0
Коэффициент термического расширения (при 370К), К-1
2,8-10-6
Теплопроводность (при 300К), Вт/(м∙К)
180-200
Модуль упругости, ГПа
300
Прочность на изгиб, МПа
150-200
-6-
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Аdvantages
As compared to conventional quartz components, silicon carbide parts have the following merits:
- multi-fold lowering impurity diffusion;
- operating temperature elevation up to 1350 C;
- 10-15 times lengthened life-time;
- no seizing and breaking of silicon wafers;
- cleaning possible at any step of processing cycle;
- complete compatibility with all the materials of the thermic hardware;
- realization of “soft” fitting and contactless loading of the wafers;
- possibility of complete automation of the process.
To fabricate the components, there is used high-purity reaction-bonded silicon carbide, infiltrated with electronicsstandard purity silicon.
The impurity magnitude in this material is given in the table:
Element
Impurities content,
no more, ppm
Element
Impurities content,
no more, ppm
Element
Impurities content,
no more, ppm
Mn
0,16
Mo
<0,5
Au
<1
Dy
0,005
Cu
1,1
Cr
1,1
U
<0,01
W
0,52
Ni
1,25
Th
0,15
Na
1,013
Co
0,2
La
<0,05
К
1,02
Fe
1,02
Sb
<0,2
Sc
<0,05
Hf
0,025
Та
0,011
Zr
<0,5
Ir
<0,01
Properties of the materials
Porosity
Density, g/cm3 Thermal expansion coefficient (at 370K), K-1
Thermal conductivity (at 300K), W/(m.K)
Elasticity modulus, GPa
Bending strength, MPa
<1%
2,9-3,0
2,8.10-6
180-200
300
150-200
-7-
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Качество
Структура реакционно-спеченного карбида кремния характеризуется изотропностью и практически полным
отсутствием пористости. Каждый шаг процесса изготовления изделия находится под жестким контролем.
Основное внимание уделяется исследованию структуры, измерению механических и термических свойств,
особенно прочности, и контролю вакуумной непроницаемости наших изделий.
Особенности
Отличительной чертой нашего производства является полный цикл производства, начиная с получения особо
чистого порошка SiC формования, термообработки и заканчивая финишной алмазной обработкой, сертификацией
и упаковкой готовых изделий. Стадия сертификации включает контроль высокотемпературной прочности и
газонепроницаемости полноразмерного изделия, сваренного из отдельных элементов.
-8-
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Quality
The reaction-bonded silicon carbide structure is characterized by isotropy and practical absence
of porosity.
Each step of fabrication process is under strict control of quality.
Main attention is paid to structure examination, measurement of mechanical and thermal
properties, specifically,, of strength, test for vacuum-tightness of our products.
Features
A distinctive feature of the production is a full cycle from obtaining high-purity SiC-powder, molding, heat treatment - to
finish diamond tooling, certification and packing of ready-made articles. The certification stage provides for inspection
of high-temperature strength and gas-tightness of the full-size products, welded from individual elements.
Developments and fabrication of the silicon carbide components is possible according to a customer’s drawings.
-9-
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Основные виды продукции и их свойства
Диффузионная труба
обеспечивает требуемую газонепроницаемость до ~1350°С; в диффузионной трубе размещается бесконтактный
носитель (консоль) с установленными кассетами с набором кремниевых пластин.
Диффузионные трубы
Диаметр пластины Диаметр
трубы, mm
Длина, mm
Шаровое
Размер шарового № чертежа
соединение * соединения, mm
Диффузионная труба TP-152 100/125 mm (4”,5”)
152/165
до 2600
2
28/15 и 28/15
TP-152
Диффузионная труба TP-177 125 mm (5”)
177/190
до 2600
1 или 2
35/20 и 28/15
TP-177
Диффузионная труба TP-190 125 mm (5”)
190/205
до 2600
1 или 2
35/20 и 28/15
TP-190
Диффузионная труба TP-214 150 mm (6”)
214/225
до 2600
2
35/20 и 28/15
TP-214
Диффузионная труба TP-222 150 mm (6”)
222/234
до 2600
2
50/27 и 28/15
TP-222
Диффузионная труба TP-245
200 mm (8”)
245/255
до 2600
2
35/20 и 28/15
TP-245
Диффузионная вертикальная 200 mm (8”)
труба TP-320B
320/330
1215
нет
TP-320
* Тип и количество шаровых соединений может быть изменено.
- 10 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Summary and purpose of basic type production.
Diffusion Tube
Comprises a chamber, providing required gas-tightness at a ~1350 C; the diffusion tube receives a contactless carrier
(cantilever) with placed in it cassettes with a set of silicon wafers.
Diffusion Tubes
Wafer Diameter
Diameters
Length, mm
of Tube, mm
Ball Joints *
Ball Joint Sizes, mm
Drawing No.
Diffusion Tube TP-152
100/125 mm (4”,5”)
152/165
Up to 2600
2
28/15 and 28/15
TP-152
Diffusion Tube TP-177
125 mm (5”)
177/190
Up to 2600
1 or 2
35/20 and 28/15
TP-177
Diffusion Tube TP-190
125 mm (5”)
190/205
Up to 2600
1 or 2
35/20 and 28/15
TP-190
Diffusion Tube TP-214
150 mm (6”)
214/225
Up to 2600
2
35/20 and 28/15
TP-214
Diffusion Tube TP-222
150 mm (6”)
222/234
Up to 2600
2
50/27 and 28/15
TP-222
Process Tube TP-245
200 mm (8”)
245/255
Up to 2600
2
35/20 and 28/15
TP-245
Diffusion Tube TP-320B
Vertical Tube
200 mm (8”)
320/330
1215
None
TP-320
* Type and quantity of Ball Joints may be change
- 11 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Консоль
(бесконтактный носитель)
используется для размещения внутри
диффузионной трубы набора кассет и не
допускает соприкосновения кремниевых
пластин с внутренними стенками трубы.
Консоли
Размер ручки, мм
Длина, мм
Ширина нагружаемой
зоны, мм
Консоль КО-032
32*32
до 2600
95
KO-032
Консоль КО-032М (вместе с
пазами в нагружаемой зоне)
32*32
до 2600
95
KO-032
Консоль КО-050
50.8*50.8
до 2600
95
KO-50
Консоль КО-50-106,9
50.8*50.8
до 2600
106,9
KO-50-106,9
Консоль КО-50-106,93 (вместе
с пазами в нагружаемой зоне)
50.8*50.8
до 2600
106,9
KO-32-106,9M
Носители
Длина, мм
Высота, мм
Межосевое соединение
между планками, мм
Носитель HO-115
955
102
115
HO-115
Носитель HO-135
1032
100
135
HO-135
Носитель HO-67
704
50
67
HO-67
- 12 -
№ чертежа
№ чертежа
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Cantilever Paddle
(contactless carrier)
is used to locate within the diffusion tube a
set of cassettes and, prevents from contact
between the tube’s inner surface and wafers.
Cаntilever paddles
Handle Size, mm Length, mm
Load Zone Width, mm
Cantilever Paddle KO-032
32*32
Up to 2600
95
KO-032
Cantilever Paddle KO-032M
(with slot in Load Zone)
32*32
Up to 2600
95
KO-032
Cantilever Paddle KO-050
50.8*50.8
Up to 2600
95
KO-50
Cantilever Paddle KO-50-106,9
50.8*50.8
Up to 2600
106,9
KO-50-106,9
Cantilever Paddle KO-50-106,9S 50.8*50.8
(with slot in Load Zone)
Up to 2600
106,9
KO-32-106,9M
Intrmediate Carrier
Length, mm Hight, mm Ineraxial space
between rods, mm
Intrmediate Carrier HO-115
955
102
115
HO-115
Intrmediate Carrier HO-135
1032
100
135
HO-135
Intrmediate Carrier HO-67
704
50
67
HO-67
- 13 -
Drawing No.
Drawing No.
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Кассеты
горизонтального размещения
в диффузионной трубе
предназначены для расположения
кремниевых пластин на определенном
расстоянии друг от друга.
Вертикальные кассеты
предназначены для печей
вертикальной конфигурации.
Кассеты
Диаметр
пластины
Длина,
мм
Расстояние
между пазами, мм
Типичная ширина Совместимы с
пазов, мм
№
чертежа
Кассета KA-100-33
4”
149±0,1
2,38±0,03
0,8±0,03
KO-032
KA-100-33
Кассета KA-150
6”
145,7±0,1
2,38±0,03
0,8±0,03
HO-115
KO-050
KO-50-106,9
KA-150
Кассета KA-200
8”
145±0,08
2,38±0,03
0,8±0,05
HO-115
KO-050
KO-50-106,9
KA-200
Кассета KA-150B
6”
843
4,76±0,05
2,5±0,2
Кассета KA-150BM
6”
843
Кассета KA-200B
8”
679
4,76
2,5±0,8
KA-150B
KA-150BM
KA-200B
* Длина кассет может быть изменена
- 14 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Wafer boats
for horizontal design components
are intended to place a pack of
silicon wafers at a certain distance
from each other.
Vertical wafer boats
are designed for vertical
configuration furnaces.
Wаfer boats
Wafer
Diameter
Length,
mm
Slot Spacing,
mm
Typical Slot
Width, mm
Compatible
with
Drawing No.
Wafer Boat KA-100-33
4”
149±0,1
2,38±0,03
0,8±0,03
KO-032
KA-100-33
Wafer Boat KA-150
6”
145,7±0,1
2,38±0,03
0,8±0,03
HO-115
KA-150
KO-050
KO-50-106,9
Wafer Boat KA-200
8”
145±0,08
2,38±0,03
0,8±0,05
HO-115
KA-200
KO-050
KO-50-106,9
Wafer Boat KA-150B
6”
843
Wafer Boat KA-150BM
6”
843
Wafer Boat KA-200B
8”
679
4,76±0,05
2,5±0,2
KA-150B
KA-150BM
4,76
2,5±0,8
KA-200B
* Boats lenght may be change
- 15 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
ТР-160
A-A
2025
А
232
202
190
132
28/15 STD
Ball Joint
SEE DETAIL
28/15 STD
Ball Joint
SEE DETAIL
А
30
15
28
22
DETAIL
(FULL SCALE)
- 16 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
ТР-177
A-A
L
L=Up to 2600mm
А
178
190
177
76
35/20 STD
Ball Joint
SEE DETAIL
28/15 STD
Ball Joint
SEE DETAIL
А
16
15
28
22
20
34.99
26
DETAIL
(FULL SCALE)
- 17 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
ТР-190
A-A
L
L=Up to 2600mm
А
180
202
190
100
35/20 STD
Ball Joint
SEE DETAIL
28/15 STD
Ball Joint
SEE DETAIL
А
30
15
28
22
20
34.99
26
DETAIL
(FULL SCALE)
- 18 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
ТР-222
A-A
L
L=Up to 2600mm
А
206
236
222
73
35/20 STD
Ball Joint
SEE DETAIL
28/15 STD
Ball Joint
SEE DETAIL
А
16
15
28
22
20
34.99
26
DETAIL
(FULL SCALE)
- 19 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
ТР-235
- 20 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
ТР-320
320
327
R15
1215
- 21 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
ТР-290
- 22 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
КО-050с
- 23 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
КО-032
- 24 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
КО-050
- 25 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
КО-032с
B
A
L
L=Up to 2600
170
1080
View A
7.9
19
14.2
32
18
9.7
95.5
60.5
56.9
View B
R2
4pad
18
32
- 26 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
НО-115
- 27 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
С-985
- 28 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
С-1087
- 29 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
C8x8
- 30 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
Rod-4300
- 31 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
KA-100
- 32 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
- 33 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
KA-200B
679
63
45 o
187
2
18.9
À
12.7 2õ45
12.7
î
12
15
90o
16.5
205
235
SLOT CROSS-SECTION
135
9.52
À
6
6
4.76
2.5
8
203
- 34 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
T-300
- 35 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
T-100
- 36 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru
K35-20C
- 37 -
24, Zheleznodorozhnaya St., Podolsk, Moscow region, Russia, 142100
Tel. (495) 502-79-51
Fax:(495) 543-33-63
e-mail: npo@sialuch.ru
http://www.luch.podolsk.ru