Эксимерные лазеры серии CL (буклет в формате

Эксимерный лазер
CL-5000
Спецификация
- компактный эксимерный лазер
- высоковольтный коммутатор – высокоресурсный
тиратрон с холодным катодом
- стабилизация средней мощности
- увеличенное время жизни газовой смеси
- компьютерный контроль
- единый модуль
- газовая смесь – премикс
Применение
• источник излучения для эксимерных
офтальмологических установок
• производство дифракционных структур
в оптических волокнах
• обработка материалов
• микромаркировка
• лазерное напыление
Эксимерный лазер CL-5000
Модель
Длина волны*
ArF
KrF
XeCl
193 нм
248 нм
308 нм
Конструкция
металлокерамика
Предыонизация
CL 5100
CL 5200
CL 5300
коронная
Номинальная энергия импульса
20 мДж
40 мДж
25 мДж
2 Вт
4 Вт
5 Вт
4 Вт
8 Вт
10 Вт
2,5 Вт
5 Вт
7 Вт
Средняя мощность
CL 5100
CL 5200
CL 5300
Макс. частота
CL 5100
CL 5200
CL 5300
100 Гц
200 Гц
300 Гц
Длительность импульса1
8-10 нс
Стабильность энергии импульсов
Размер пучка1
Расходимость пучка
9-11 нс
ср. квадр. откл. < 2%
5 x 12 мм
1
Синхронизация
Габариты (ДхШхВ), вес
6 x 12 мм
2 x 4 мрад (стабильный резонатор)
< 2 нс
780 x 330 x 583 мм, 80 кг
Охлаждение
CL 5100
CL 5200/5300
Питание
Газ
Управление
Воздушное водяное < 1 литр/мин
220 В / 50 Гц, 10 А, не более 1000 ВА
1 балон со смесью
RS 232 или RS 432 Windows
* - возможна работа на длине волны 157 нм
1 - FW HM
142190, г. Москва, г. Троицк, ЦФП ИОФ РАН, ООО «Оптосистемы»
Т: +7 (495) 851-0895/0211 Ф: +7 (495) 851-02-16 www.optosystems.ru