Прибор ЭМГ-20-9 – времяпролетный масс-спектрометр для обнаружения следовых примесей в особо чистых газах. А.А.Зорин1, А.В.Козловский1, С.Н.Марковский1, А.Н.Можаев1, И.И.Пилюгин1,2 1) ЗАО «МЕТТЕК», Санкт-Петербург, manage@mettek.spb.ru 2) ФТИ им. А.Ф.Иоффе РАН, Санкт-Петербург Потребности современных технологий требуют точного и оперативного измерения содержания компонент технологических газов и примесей на уровне до 0.1 ppm. Например, для создания газонаполненных панелей требуется получать особо чистый Ne в концентрации 99.9999%. Другой задачей этой же технологии является разделение изотопов 20Ne и 22Ne с высокой степенью разделения. Существующие технологии анализа примесного состава, основанные на хроматографическом анализе, не позволяют определять примеси He в Ne [1]. Предлагаемой альтернативой является массспектрометрический метод анализа. ЗАО «МЕТТЕК» (www.mettek.ru) на протяжении более 10 лет разрабатывает и выпускает экспрессные многокомпонентные газоанализаторы на основе времяпролетных масс-спектрометров типа масс-рефлектрон для контроля и управления технологическими процессами, протекающими в газовой фазе. В 2005 году ЗАО «МЕТТЕК» создал газоанализатор ЭМГ-20-9, способный обнаруживать примесные компоненты в газовой фазе на уровне 0.1 ppm за 6 секунд. Рисунок 1. Внешний вид прибора ЭМГ-20-9 с открытой дверцей 1 При разработке использовался времяпролетный масс-анализатор ЭМГ-20-1, разрешающая способность которого составляет не менее 150. Вакуумная система была разработана на базе оборудования фирмы BOC EDWARDS. Для «безмасляной» откачки использовался спиральный насос XDS 10 с производительностью 5 л/сек и турбомолекулярный насос EXT255H CF100 со скоростью откачки 250 л/сек с предельным вакуумом ~10-8 Па. В процессе разработки получены остаточные масс-спектры вакуумной камеры в диапазоне до 60 а.е.м. с пределом обнаружения до 0.1 ppm за 6 секунд. Рисунок 2. Остаточный масс-спектр вакуумной камеры прибора ЭМГ-20-9 Оптимизирован режим работы турбомолекулярного насоса под задачу регистрации микропримесей. Разработана методика анализа микропримесей и сопутствующее программное обеспечение. Система полностью автоматизирована для непрерывного анализа газов в производстве газов особой чистоты для заказчика – ООО «АйсБлик», Одесса, Украина. В процессе измерений проведена градуировка прибора по двум поверочным газовым смесям: 1) Ne особой чистоты – 99.9999% 2) 20 ppm He в Ne особой чистоты, и получен график непрерывного измерения содержания He в воздухе в течение 30 минут. 2 Рисунок 3. График непрерывного изменения содержания He за 30 минут Литература: 1. В.Л.Бондаренко, Ю.А.Чех, В.Н.Рура. Контроль газового состава в производстве неона высокой чистоты. – «Технические газы», №1, (2005), стр. 46-52. 3