_, ТУРКМЕНИСТАН ССР "ФИЗИI(А-ТЕХНИI(И, ИЗВЕСТИЯ ЫЛЫМЛАР ХИМИКИ ВЕ АI(АДЕМ 'ИИ АКАДЕМИЯСЬIНЫI{ ГЕОЛОГИ!( ХАБАРЛАРf - ЬIЛЬIМЛАРЫН. СЕРИЯСЫ ТУР· I(МЕНСКОИ ,.., HAY.I( ССР СЕРИЯ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСI(ИХ, ХИМИЧЕСКИХ И ГЕОЛОГИЧЕСКИХ НАУК .N2 4 1968 УдК s:зg_ 238 ' Р. Г. АН НАЕВ Л. В. I(ИРЕНСI(ИИ Р. В. СУХАНОВА Г. Ш. АХМЕДОВА П. 3. Н. ЗАЯКИИ М. ПЕРЖАНОВСКАЯ ИССЛЕДОВАНИЕ ЭФФЕКТА ХОЛЛА И МАГПЕТОСОПРОТИВЛЕНИЯ НА ТОНКИХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕН ·КАХ НИКЕЛЯ Тон~ие пленки наход~т все большее применевне в физике и тех­ нике. Изучению электрических и магнитных свойств цекоторых тсtнких ферромагнитных .пленок посвящен т_альных раб'от [1-7]. Влияние старения ряд теоретических и экспери : ~ ен- · , (окисленИя} моi-rокристаллических тонких пле-. нок никеля на эффект Холла и на изменение - электросопротивления '!Jленок под воздействием магнитного поля или намагничения (магне­ ·тосопротивление) никем не _ изучалось. Цель данной работы ·_ · исследование магнетасопротивления И · эф­ ·феr}та Холла на тqнких монокристаллических пленках никеля толщи- • ной n 480-1400 А при 291 о к в магнитных полях до 5,6 кэ и через год Jiювторить при прочих равных условиях опыта те же измерения .выяснения влияния процесса окисления Опыт показывает, что ЭДС Холла ·ставить VУ (старения) _ на эти для штенки. в ферромагнетиках можно пред­ соотношением (1) где Ro - обыкновенная постоянная Холла; ферромагнитная постоянная Н - магнитное поле; Первый член риала, а второй (1) - ХолЛа; 1 - iх сила тока; характеризуется зависит d - Rt - необыкновенная или намагниченность образца; толщина образца. , прощ~ссом проводимости мате~ от намагниченности его. Мног11е авторы исследовали тонкие пленки ферромагнетиков и nоказали, что постоянные Холла Ro и Rt и величины их зависят от технологии изготовления пленок, от температуры подложки, от величи­ ны давления при процессе напыления или испарения, от направЛения И скорости напыления или юшарениЯ- и :Г· д. Кроме этого, с уменьшением толщины пленок абсолютные величины постоянных Холла Ro и R1. уве­ личиваются и знаки их сохраняются, как в случае массивных образцов. · Соотношение (1) можно представить .в иной форме: Н =He-NI, (2) где iie - внешнее магнитное поле; размагничивающий фактор. N Q бразца. Действительно, обозначая в е.= _, .(1) V-d -lx/ - и воспользовав. . (2), находим ШЙСЬ Кри·вую зависимости ех как -функц ии Не схематически мож­ но и,зобразить (рис. 1) анало­ гично [8), только мы здесь даем e~=f(He), а не =f ех (8). частности в (3), когда (R!-RoN)I .RoHe" . имеем ex 2 =RoHe « Рис. . .ех. . или В Не~ tg ер= R о lx · (Не ,< Hs\· !. Схематическая зависимость как функции внешнего поля Не. магнитного Тем самым можно из опыта определить в данном образце обыкно­ венну ю постоянную Холла. Пересечение продолжения прямолинейного участка АВ при H~ > Hs с осью ординат дает отрезок ех 1 = (Rl-RoN)/5 и 1 За менена нами на 15 поскольку наклон прямолинейного участка , АВ в области больших Не >Hs (рис. 1). Намагниченность можно считать равной намагниченности насыщения образца /5• Та ким образом, если известно / 5 и размагничивающий фактор об­ разца N, то можем находить величину ферромагнитной константы Хол- ла R1- · Если ис~ледуемый образец имеет форму прямоугольного паралле­ .лепипеда длиной l и сечением ·s, то удельную намагниченность cr [9] и.тш интенсивность намагничения Cr!tl (41t- N) 2mn .(j = 1 можно вычислить по формулам . а, . 1= Cr!t=t 2tms (41t- N ) где , Сф баллистическая постоянная установки; а отброс гальванометра; iln - разность числа витков в дифференциальной I)aтущке: т- масса образца. Методы и измерения эффекта Холла магпетосопротивления Наи более распространенным ме:rодом измерения эффекта Холла и яв.'lяется потеl!циометgический метод [9]. 1\1 агю~тосопротивления Н<Jм и при измерениц эффекта Холла использован неуравновешен­ ный потенциометр, теория конструкции которого разработана Р . Г. Ан­ наев ым [10]. В схему включался зеркальный гальванометр типа М с постоянной к напряжению Си Маrнетосопротивление мостам Томсона новка и [Il] =0,74·10- 7 измерялось _.!!.._. мм 17/6 м. неуравновешенным · двойньiм 10 - 6 ом. Собранная уста,­ с точностью до порядк а правильиость ее работы провсрялась по измерению эффекта Xoл,zia на отожженой никелевой пластинке размера,ми 20X 10XO,l М:щ3 , результать1 которы х хорошо совпали с наблюдениями, приведеиными 27 • в· [12]. С целью выяснения роли окисления, на рис. · приведены ре­ 2, 3 зультаты измерений точками, а повторные наблюдения через год на• т1екоторых образцах обозначены крестиками. Из сопоставления - резуль­ татов измерения видно, что некоторое влияние оки~ления им~ет место. Измерение магнетасопротивления проводилось в продольном и поj перечном направлениях внешнеГо магнитного поля, а также в зависи­ мости от угла rp (р - угол между [100] и направлением внешнего: магнитного поля). При всех измерениях ток, пропускаемый через об­ разцы, оставался постоянным 5·1 О - 4 а. При измерениИ эффекта· Холла . и продольного, нялось от О до поперечнщо 5634 магнетосопротив.r~ения внешнее изводилось с среднем до (!~ I0 При 8g·(M изме ­ точностью 1-:-50fo. 30 · СИМОСТИ о ОТ угла ла равна 25 Be,JIИ~ r, о и з мерения · электрический то к внешнее Не по 5/ОА эрстедам. 5634 Направ.r~ение · в з ави­ rp чина . поля насыще ни я бы­ ЧВОА го в, . измерении магне­ тосопротивления 1 а поле эрстед. Измерение эффекта в наших опытах про- [1 00] i, магнитное поле отношению оси имели следующие ориентации: эффект Хол~ 15 ла . измеряЛся, [100] 11 i IIJ_r _i_H; !О сопротивление речноrо {100] 5 ~огда магнето ­ .q.ля J]ОПе­ эфФекта, \\i\lr j_ Н; дольного {lOOJ когда для про-. Не. , llillr\1 ~агнетосопротивление в зависимости от . 1 Рис. внешнего толщин 2. Зависимость эффекта магнитного поля Не монокристаллических никеля в ГlOOl (ххх - Холла ех от для различных пленок чистого повторные измерения че- рез год). производилось yr.тta <р из ме рени­ А ем, когда {100il \\i llгHe= rp_ Экспериментал ь Н' а часть выполнялась тонких я на монокристалли­ ческих пленках , полученных в вакууме · (l0- 4 мм рт. ст.) · при темпера­ туре подложки 180°С. Подложкой служил монокристалл NaCI в плос­ кости- [001]. На электронаграмме проверялась плоскость [001:] тонких пленок никеля. Для обеспечения контактов проводящих проводов с пленкой, в след ­ ствие большой чувствительности никеля к деформации и темпер а туре, были напылены отводящие контакты из . красной меди. Подводящие провода крепились специальным припоем, состояще111 из чистых элементов: 570foGa+23%In+200foSn ют низкую температуру плавления и вес. частей, которые и.ме­ обеспечивают надежность кон­ такта. Состав был синтезирован в эвакуированных кварцевых за паенных а·мцулах при температуре тугоплавкого компонента с последующи м по- степенным охлаждением. · · Полученный сплав нщюсился • · на месте контактов электро да с со.­ еди~ительнымИ проводами, затем - помещался в воДяную баню . и выдер- · живалея 28 там до расплавления. Надежность контакта определяется по овалу припоя на границе с эл е ктродом. Если не наблюдается растекания припоя на медном электроде, то края получаются овал~ными. к;ак только медный элект­ род сма чивался с припоем, пленка вынималась из водяной бани и на место контакта наносилась 1\апля БФ-2. Затем пленка с подложкой за­ жим алась в специальную подставку. Результаты измерения По.ТJученные результаты измерений эффекта Холла и продольного nоп ереч ного ~ивления магнетосоnротивления, от угла ~ для а также зависимость монокристаллических ной толщины показаны на рис . На рис. 2, 3, 4. тонких 2 магнетосопро­ пленок различ­ представлены зависи­ мость эффеюа Холла e.r от внешнего магнитного поля Не для тонких монокристаллИческих пленок с толщинами: 1400, 1340, 1200, 1100, 530; через год при 15 () (начиная с 530 А) эффект Холла рез1<0 возрастает, а затем уменьшается в висимости увели­ Чения от за­ толщины плео НОК ДО 1340 А. · Величина ЭДС Холла у пленок . о А) боль - (480-1100 . ше по сравнению массивными цами с образ­ монокриста.'1- .ТJ,ического никеля. Продольное 1\Iаг­ ~~~тосопротивлен и е 9бкаруживает на­ сыщение во всех сдедqванных ках и уменьшается почти 3). ис­ плен­ до нуля уменьшением щины · пленок Но с тол­ (рис. насыщение nр,одольного Рис. 3. Зависимость продольного(~) и по­ р перечного ( ~Р) l. , магнетасопротивления от внеш­ него магнитного · поля сталлических 11 Не и толщины пленок никеля (ххх измерения через год). монокри­ повторные эффек­ та наступает раньше, чем nоперечного. . . Продольный резко возрастает у всех nленок, а Затем у nленок эффект вначале о 530 и 510 А наблюда­ ется незначительное nонижение области насыщения. Поnеречное магнетасопротивление при малых полях порядка~ 500 115~0 эрстед имеет . очень м~ленькую величину для пленок 530, 510, 480 А, но с дальнейшим увеличением поля резко возрастает. Величина nоперечного магнетосопротивления значительно больше продольного. 29 При ,· - IЧOQ 1JЧU~ IJ~~ измеренип магнетосопро т ·и в­ .ления в зависимости от угла NOOA /ZOQA ется •IIODA ер наблюда­ смещение сторону ного · В. отридателъ­ эффекта с уменьше~ием толщи­ ны пленки (рис. 4). 1400;. 1100, У пленок 1340, 1-200, 530 А эффект дости• о гает нуля При ер ,. р-авной 45 и 135°, ~ у пленки толщиной с 510 А при. равной ·15 33 rp , и прибли­ зи~еhьно 150~ а о пленка 480 А и·меет только ·20 отрица ..: тельное значение 'эф.:. фекта. Рис. 4. Зависимость ( ~) от угла 'f магпетосопротивлениЯ = [010] 11 i/1; Н8 при Постоянная Холла: с поле увеличением щины Н =5634 э для различных то.Лщин пленок в (100) (ххх - повторные измерения через год). пленки растает с и, тол­ воз­ начиная о 530 А, уменьшает- ся по эквипотенциальному закону . до 1340 А. Выводы 1. Холловекая разность ~отенциалов увеличивается с уменьшение!'il! толщины 2. пленки. Магнетасопротивление как в продольном, так и в поперечном, магнитном поле для всех исследуемых толщин пленок имеет ный ход кривых: в первом случае с положительным, во различ­ втором ..2.. с: отрицательны.м значением величины эффекта. 3. Величина магнетасопротивления ния, равном nри поле магнитного 5634 э, в зависимости от угла ер между осью на сыще­ [100] .и: магнитного поля Н смещается в сторону отрицательного эффекта при уменьшении толщины пленки и достигает нуля при rp, равн'ой 145 и О ' 135~ для пленок толщиной 510 А. о На Пhенках толщиной 480 А велиЧина магнетасопротивления во всей области изменения угла имеет отрицательный знак величины/ 4. эффекта. ·~~ ••• .J 30 iJ. В-11ияние окисления монок р Исталлических зывает на изменение величины э ф фекта Холла и ния в наших измерениях (рис . 2-4). - Туркменский г осударственный университет им. А. М . Горького Институт Физики Сибирского отделения АН СССР пленок никеля ука­ магнетосоп.ротивле-­ 1З ,. ГТоступ ИJ;ю \ ~~я 1967 г•. Л И Т ЕРА ТУРА 1. Тонкие магнитные пленки. ~ Сб. статей под ред. А. С. Г лушкого и Л. В. ·ки-­ рен ского . Гостехиздат УССР, Киев , 1963. 2. Тонкие ферромагнитные пленки - Изд. МИР, п од ред. Р. В. Т ел еснина . 3. По л и в а н о в К. М., Ф р у м к и н а А. Л. - Известия АН СССР, сер. физ ич . 25, N2 5, 1961 . . _ "' 4 В у Д и н ь К ы - Изв естия АН СССР, 29, N2 4, 576-579, 196v. 5: С о 1 о т Ь а h i, А. А с а u r е а их G. - Holl effect of thin filтs of nilel Structure апd Properties Thin Filтs, Ne\V Iork-Londoп, ! от Wiley · and Sons, Inc, 393-400 Discuss, 400-401, 1959. 6. V е 1 i о А . - , Magnetoresistance and На!! v·oltage тeasurements on Singlecrystal N~ 1 _and Ni-Fr thiп filтs, (9. Appl. Phys.), 35, N2 3, part 2, 774- 775, 1964. 7. С о l е т а n R. у., L а r s оn D. С. - «Magnetoresistance of sindl crystal пickel film s». 'Physical Letter 19, N2 7, 554-556, 1965. 8. В у Д и н ь К ы и Е. Ф. Кур и ц ы н а - ФММ, 19, вып. 4, 501-505, 1965, ДАН СССР, ·160, N2 "1, 77-86, 1965. 9. Ч е черни к о в В. И. Магнитные измерения. Изд. Московского уни. _ верситета, 1963. 10. А н н а е в Р . Г. - Тр. первой межвузовской конференции по современной 1ехнике ди электриков и полуn_роводников, стр. 388- 396, Л ., 1957. 11. А н н а е в Р. Г. - Магнито-электрические явления в ферромагнитных ме­ талла х . Из д. АН Туркм. ССР, Ашхабад, 1952 . 12. К о н д о р с к и й Е. И., . Г а л к и н а О. С. Ч е р н и к о в а и Ч ж е н К а й-Д а. - ЖЭТФ, 41, N2 6, 1961 .